三葉羅茨真空泵概況
羅茨真空泵具有二個(gè)三葉型轉(zhuǎn)子，通過一對(duì)同步反向旋轉(zhuǎn)高精度齒輪驅(qū)動(dòng)，右圖為轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)120°，完成一次吸、排氣的過程。三葉轉(zhuǎn)子采用漸開線型線，轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)互相不接觸并保持恒定間隙?？膳c多種前級(jí)泵配套，采用風(fēng)冷或水冷方式和多種密封形式，滿足不同工藝和工況要求。
比傳統(tǒng)二葉型羅茨泵在抽氣效率、大允許壓差、溫升、振動(dòng)、噪聲等關(guān)鍵性能指標(biāo)上都具有明顯的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。三葉轉(zhuǎn)子采用高精度齒輪傳動(dòng)和精密軸承支承，噪聲低、運(yùn)轉(zhuǎn)更加平穩(wěn)，在低入口壓力下仍具有較大抽氣速率。
主要特點(diǎn)
●轉(zhuǎn)速高、容積率高、溫升低、振動(dòng)小。
●結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可靠性好，操作、維護(hù)方便。
●轉(zhuǎn)子被鎖緊，無軸向串動(dòng)現(xiàn)象、故障率更低。
●所有平面靜密封采用O型圈密封，可以反復(fù)拆裝。
●主軸采用機(jī)械密封，確保泵腔無油和長(zhǎng)期無泄漏。
●端蓋密封可采用機(jī)械密封、骨架、活塞環(huán)和迷宮密封等多種形式。
應(yīng)用范圍
三葉不能單獨(dú)使用，必須與前級(jí)真空泵配套使用，配置不同類別的前級(jí)泵后，各項(xiàng)性能指標(biāo)會(huì)有所不同。主要應(yīng)用于需要大抽速和粗、中真空(103~10-2Pa)的真空系統(tǒng)，例如真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗(yàn)、微電子及集成電路、燈管及燈泡制造、真空包裝、集中抽氣系統(tǒng)、各類化工處理、真空脫汽、真空脫水、真空冷凍干噪、真空蒸餾。
規(guī)格參數(shù)
型號(hào) | 抽氣速率 | 極限壓力 | 允許壓差 | 配用功率 | 轉(zhuǎn)速 | 進(jìn)氣口 | 排氣口 | 總重 | 推薦前級(jí)泵 |
ZJ-70 | 70 | ≤0.05 | ≥1.2×104 | 1.5 | 2900 | 100 | 80 | 198 | 2x-15 |
ZJ-150 | 150 | ≤0.05 | ≥1.2×104 | 3 | 2900 | 100 | 80 | 198 | 2x-30 |
ZJ-300 | 300 | ≤0.05 | ≥1×104 | 4 | 2900 | 150 | 100 | 290 | 2x-70 |
ZJ-600 | 600 | ≤0.05 | ≥8×103 | 5.5(7.5) | 2900 | 200 | 150 | 490 | ZJ-150 |
ZJ-1200 | 1200 | ≤0.05 | ≥6×103 | 11 | 2900 | 250 | 200 | 790 | ZJ-300 |
ZJ-2500 | 2500 | ≤0.05 | ≥5×103 | 18.5 | 2900 | 320 | 250 | 1550 | ZJ-600 |
ZJ-5000 | 5000 | ≤0.05 | ≥4×103 | 37 | 1450 | 400 | 320 | 3080 | ZJ-1200 |
ZJ-10000 | 10000 | ≤0.05 | ≥3×103 | 55 | 1450 | 500 | 400 | 5000 | ZJ-1200 |
ZJ-20000 | 20000 | ≤0.05 | ≥3×103 | 110 | 1450 | 800 | 750 | 9500 | ZJ-1200 |
注：上表各性能是在配用推薦前級(jí)泵的條件下獲得的，若視情況選用不同的前級(jí)泵，其主要性能指標(biāo)會(huì)有所變化。抽氣速率系指在配用推薦前級(jí)泵的條件下，的入口壓力在67pa~2.67pa范圍內(nèi)所測(cè)得的zui大抽氣速率。(見性能曲線)極限壓力系指在配用推薦前級(jí)泵的條件下，不帶任何附加容器、泵口密閉不進(jìn)氣，經(jīng)過充分抽氣后用壓縮式真空計(jì)在泵進(jìn)氣口處測(cè)得的穩(wěn)定的空氣分壓力的zui低值。
