產(chǎn)品簡介：UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機，適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù)， 整機研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕，配置自動滴料器和精密磨拋控制儀，全自動觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。
產(chǎn)品名稱 | UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機 | |||||
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備配有上水口及下水口，需自行連接自來水及下排水 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：無 4、工作臺：尺寸800mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置：不需要 | |||||
主要特點 | 1、超平不銹鋼拋光盤（平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm）。 2、超精旋轉(zhuǎn)軸（托盤端跳小于0.01mm）。 3、設(shè)有兩個加工工位，可分別進(jìn)行控制。 4、配有全自動控制觸摸屏面板，可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時間。 5、配置自動滴料器，流量速率可視化調(diào)整，自動研磨和拋光。 6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀，可調(diào)節(jié)壓力，修整面型，使磨拋更加方便快捷。 7、研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕。 | |||||
技術(shù)參數(shù) | 主機部分 | GPC-100A精密磨拋控制儀 | 自動滴料器 | |||
1、電源:220V 2、功率:450W 3、磨拋盤轉(zhuǎn)速:10-240rpm 4、磨拋工位:2個 5、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15檔; (改前調(diào)速檔位為1-3) 6、托盤端跳:0.008/250mm 7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm 8、載樣盤:φ105mm 9、修盤環(huán):φ0127.5mm
| 1、載樣盤直徑：?103mm 2、載樣盤軸向行程：12mm 3、數(shù)顯表精度：0.001mm 4、載樣盤可調(diào)加載壓力： 0.1kg-2.1kg 5、壓力確認(rèn)儀有效量程：1g-5000g 6、樣品裝卡方式：真空吸附 7、承載樣件尺寸： 直徑≤103mm、 厚度≤12mm 8、尺寸：外徑146mm，高266mm
| SKZD-2滾筒滴料器 1、容積：1.5L 2、流量：0-35ml/min 3、尺寸：170×290×350mm； 重量：3kg SKZD-4自動滴料器 1、加液泵：4個 2、料液瓶：600ml/瓶 3、計時范圍：1-999min 4、流量：0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸：230×370×450mm； 重量：10kg | ||||
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm 2、重量:90Kg | |||||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 鑄鐵研磨盤 | 1個 | |||
2 | 不銹鋼拋光盤 | 1個 | ||||
3 | 載物盤 | 1個 | ||||
4 | 修盤環(huán) | 1個 | ||||
5 | SKZD-2滴料器 | 1個 | ||||
6 | SKZD-4自動滴料器 | 1個 | ||||
7 | GPC-100A精密磨拋控制儀 | 1個 | ||||
8 | 拋光墊 （磨砂革、合成革、聚氨酯） | 各1片 | ||||
9 | 剛玉研磨微粉 | 0.5kg | ||||
10 | 石蠟棒 | 4根 | ||||
可選配件 | 1、YJXZ-12攪拌循環(huán)泵 2、精密測厚儀 3、陶瓷研磨盤 4、玻璃研磨盤 5、磁性樹脂金剛石研磨片 | |||||
