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更新時(shí)間：2020-02-15 14:33:24瀏覽次數(shù)：868次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 紡織服裝機(jī)械網(wǎng)Aerotech QNPHD系列高動(dòng)態(tài)壓電納米定位平臺詳細(xì)介紹
關(guān)鍵詞：高動(dòng)態(tài)納米定位平臺/壓電納米平臺/動(dòng)態(tài)壓電平臺
Aerotech QNPHD系列高動(dòng)態(tài)壓電納米定位平臺詳細(xì)介紹
Aerotech QNPHD系列高動(dòng)態(tài)壓電納米定位平臺
關(guān)鍵詞：高動(dòng)態(tài)納米定位平臺/壓電納米平臺/動(dòng)態(tài)壓電平臺
設(shè)計(jì)特點(diǎn)
· 閉環(huán)范圍從10μm到40μm
· 直接驅(qū)動(dòng)執(zhí)行器可加快響應(yīng)時(shí)間并提高處理量
· 高精度，無摩擦的撓性導(dǎo)向
· 設(shè)備壽命長
· 具有直接計(jì)量電容傳感器的出色定位分辨率和線性度
· 開環(huán)和真空版本
Aerotech的QNP HD壓電納米定位平臺在一個(gè)緊湊的高剛度封裝中提供了平臺和執(zhí)行器的優(yōu)點(diǎn)。QNP HD具有直接測量，電容傳感器反饋選件，高諧振頻率和高負(fù)載能力，是各種高速和高精度應(yīng)用的理想選擇，例如掃描探針顯微鏡，磁盤驅(qū)動(dòng)器測試或半導(dǎo)體晶圓連接。
精確的快速響應(yīng)
QNP HD采用直接驅(qū)動(dòng)的致動(dòng)設(shè)計(jì)和優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)毫秒級的響應(yīng)和移動(dòng)和穩(wěn)定時(shí)間。
通過使用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化以確保高剛度和較長設(shè)備壽命的精密撓曲，QNP HD提供了高動(dòng)力學(xué)性能，同時(shí)為關(guān)鍵的納米定位應(yīng)用提供了出色的幾何性能（直線度和角度誤差）。
高分辨率和定位精度
QNP HD使用*的電容式傳感器設(shè)計(jì)提供閉環(huán)反饋（-C）選項(xiàng)，該設(shè)計(jì)允許亞納米分辨率和一位數(shù)納米線性誤差。電容式傳感器直接測量定位滑架的輸出，從而實(shí)現(xiàn)出色的精度和可重復(fù)性。
安裝靈活性
QNP HD可提供后部和側(cè)面電纜出口選件，以及水平和垂直方向的安裝功能。這種靈活性使用戶無需設(shè)計(jì)會增加尺寸和設(shè)計(jì)復(fù)雜性的各種轉(zhuǎn)接板和支架，即可將載物臺定向和包裝為布置。
可選的安裝板可直接安裝到英制或米制光學(xué)面包板桌?？筛鶕?jù)要求提供定制設(shè)計(jì)和真空制備版本。
產(chǎn)品參數(shù)：
Model | QNPHD30L-10 | QNPHD30L-25 | QNPHD30L-40 | |
Closed-Loop Travel | 10 ?m | 25 ?m | 40 ?m | |
Open-Loop Travel, -30 to +150 V(1) | 12 ?m | 32 ?m | 50 ?m | |
Resolution(2) | Closed-Loop | 0.05 nm | 0.10 nm | 0.10 nm |
Open-Loop | 0.02 nm | 0.03 nm | 0.05 nm | |
Linearity(3,4) | 0.02% | 0.02% | 0.02% | |
Bidirectional Repeatability(5) | 1 nm | 1 nm | 2 nm | |
Pitch/Yaw | 5 ?rad (1.0 arc sec) | 5 ?rad (1.0 arc sec) | 7.5 ?rad (1.5 arc sec) | |
Stiffness (in direction of motion)(6) | 60 N/?m | 31 N/?m | 29 N/?m | |
Unloaded Resonant Frequency(6) | 7000 Hz | 4100 Hz | 3500 Hz | |
Resonant Frequency (200 g load)(6) | 2500 Hz | 1900 Hz | 1700 Hz | |
Max Payload(7) | Horizontal | 2 kg | 2 kg | 2 kg |
Vertical | 7 kg | 10 kg | 10 kg | |
Maximum Acceleration (Unloaded)(8) | 2250 m/s2 | 1250 m/s2 | 750 m/s2 | |
Moving Mass (Unloaded) | 39 g | 54 g | 77 g | |
Stage Mass | 0.11 kg | 0.15 kg | 0.20 kg | |
Material | Stainless Steel | |||
MTBF (Mean Time Between Failure) | 30,000 Hours | |||
高控科技 張巨鵬 1-8-5-0-6-2-3-6-5-8-8、1-8-5-1-8-5-5-6-5-8-8
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