它是一種數(shù)字質(zhì)量流量設(shè)備，通過標準通信功能（RS 485）實現(xiàn)高精度和高速響應(yīng)，同時結(jié)構(gòu)緊湊，采用高速繞線傳感器和內(nèi)部開發(fā)的具有出色穩(wěn)定性的小型比例電磁閥。

• 小型質(zhì)量流量裝置（W76 x D30 x H76）
• 高速應(yīng)答及出色的零點穩(wěn)定性
  □0-5V或4-20mA輸入/輸出信號，電源
  可從±15 V或24 V單電源選擇
• 電源連接器采用通用性較高的D-sub9針連接器
• 通過切換旋轉(zhuǎn)開關(guān)，可以使用主機中登記的氣體類型。
  ※流量是與N2氣體的比率計算出的值
• 標準配備通訊功能（RS485）
• 符合RoHS?CE標準

EX-250S標準規(guī)格

形式		質(zhì)量流量控制器 EX-250SC	質(zhì)量流量計 EX-250SM
傳感器方式		熱繞組傳感器
閥門方式		比例螺線管閥門（未通電時關(guān)閉）	–
目標氣體（* 1）		N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未列出的氣體換算成N2）
流量范圍（* 2）		10 SCCM~5 SLM
控制范圍（測量范圍）		2~100％（F.S.）
響應(yīng)速度		總流量控制范圍在1sec內(nèi)（within±2%F.S.）
		L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa	–
精度（* 3）		±1.0%F.S.
再現(xiàn)性		±0.2%F.S.
工作壓差（* 4）		50~300 kPa（Ar，CO2：100 kPa~300 kPa）	–
入口壓力		500kPa（G）
耐壓		980kPa（G）
He泄漏率（* 5）		1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下
溫度	允許周圍溫度	5～50℃
	精度保證溫度	15～35℃
	允許儲存溫度	-10～60℃
允許環(huán)境濕度		10～90%RH （無結(jié)露）
氣體接觸材料		SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼（* 6），PTFE，F(xiàn)KM
電氣連接		Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準） HR-10A
流量設(shè)定輸入信號		0~5 VDC（輸入電阻約1MΩ） Or 4~20mA（輸入電阻約250Ω）	–
流量輸出信號		0~5 VDC（負載電阻10kΩ以上） or 4~20mA（負載電阻500Ω以下）
數(shù)字通信		通過RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址
所需電源（DC）		+15 VDC（±5％）100 mA以下，-15 VDC（±5％）150 mA以下 or+ 24VDC（±10％）180mA以下（MFM都為100mA以下）
接頭（* 7）		1/4F900（標準）
安裝姿勢		推薦水平方向
重量（* 8）		約500g	約440g

（* 1）干燥氣體，不含腐蝕性成分和灰塵，霧氣等的干凈氣體。

（* 2）流量單位SCCM、SLM是將質(zhì)量流量換算成0℃、1atm狀態(tài)下的體積流量cc/min、L/min值。

（* 3）流量范圍（滿量程）的精度。

（* 4）工作壓差可能因規(guī)格而異。

（* 5）不含滲透。長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

（* 6）質(zhì)量流量計不使用磁性不銹鋼。

（* 7）如需其他接頭，請另行詢問。

（* 8）重量不含接頭。

尺寸圖

接線連接

SW1氣體類型分配表