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MODEL 3760系列是基于MODEL 3660系列開(kāi)發(fā)的緊湊型低成本質(zhì)量流量計(jì)。
它是作為大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)研發(fā)應(yīng)用的各種分析儀器和真空設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)模型而開(kāi)發(fā)的。
- 配備流量傳感器，采用改進(jìn)的恒流溫差檢測(cè)方法，實(shí)現(xiàn)高速響應(yīng)
- 我們不選擇緊湊的身體設(shè)置的地方
尺寸圖
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 模型 | 3760 | 3765 |
|---|---|---|
| 流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） | 10SCCM~20SLM（可選） | 30SLM~100SLM（可選） |
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
| 響應(yīng)速度 | 在2秒內(nèi) | 在3秒內(nèi) |
| 準(zhǔn)確性 | ±1.0％FS（25°C） | ±1.5％FS（25°C） |
| 溫度系數(shù) | ±0.1％FS /°C（15~35°C） | ±0.2％FS /°C（15~35°C） |
| 再現(xiàn)性 | ±0.5％F.S.（20°C） | |
| 耐壓 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | |
| 允許周?chē)鷾囟?/th> | 5~45℃ | |
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無(wú)結(jié)露） | |
| 氣體接觸材料 | 車(chē)身SUS316L | |
| 密封材料FKM（選件CR或NBR） | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)） | |
| 流量輸出信號(hào) | 0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上） | |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA, -15 VDC（±5％）100 mA | |
| 接頭 （體型） | 標(biāo)準(zhǔn)1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 選項(xiàng)1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 | 標(biāo)準(zhǔn)3 / 8F 900（9 / 16.18 UNF） 選項(xiàng)1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等 |
| 重量 | 約800g | 約1000g |
（* 1）不含滲透。
長(zhǎng)期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10-6Pa?m3 / sec以下。
警告
流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應(yīng)性等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外，生產(chǎn)規(guī)格條件是初級(jí)側(cè)小于300kPa，次級(jí)側(cè)向大氣開(kāi)放。
有關(guān)壓力條件，請(qǐng)另行咨詢(xún)。
