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小型等離子清洗機

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產(chǎn)品型號PCE-6

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地杭州市

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更新時間：2023-08-23 16:43:41瀏覽次數(shù)：327次

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杭州華盼科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

簡要描述：科晶公司 PCE-6小型等離子清洗機。

詳細介紹

產(chǎn)品詳細介紹：

PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Ø160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（ 1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。

主要特點：

1、通過控制面板的按鍵及開關，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。

2、時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。

3、設有一個三通閥，可精確控制進氣流量，以及大氣流清洗腔體，進氣接口為6mm卡套接口。

4、選用大功率射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。

技術參數(shù)：

1、電源：AC220V 50/60Hz

2、輸出功率：7.2W、10.2W、29.6W

3、真空泵功率：<500W

4、總功率：<600W

5、射頻頻率：3.0MHz，功率3檔可手動調(diào)節(jié)

6、等離子腔體：高純石英腔體，Ø160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進行密封，法蘭上設有Ø45mm 的觀察窗