手動(dòng)放置和取出晶圓/承載環(huán)

自動(dòng)膠膜進(jìn)給和貼膜

支持各種膜類，包括預(yù)切割膜、非預(yù)切割膜、DAF膜、特種膜類

自動(dòng)圓形切刀用于非預(yù)切割膜的切割

自動(dòng)收卷襯紙，適用于UV膜和非UV膜

晶圓臺(tái)盤溫度可編程控制，可達(dá)120℃

標(biāo)準(zhǔn)8"晶圓臺(tái)盤用于8"晶圓，可配置金屬臺(tái)盤或高密度陶瓷臺(tái)盤

PLC控制，帶5.7"觸摸屏

配置光簾保護(hù)功能，和緊急停機(jī)按鈕

三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控

貼膜質(zhì)量

沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）

每小時(shí)產(chǎn)能

≥80片晶圓

MTBF

>500小時(shí)

MTTR

<1小時(shí)

停機(jī)時(shí)間

<3%

晶圓直徑

8"& 12"

晶圓厚度

50~750微米

晶圓種類

正常的V型缺口晶圓

膜種類

預(yù)切割膜、DAF膜、非預(yù)切割膜、或者UV膜

寬度：290毫米預(yù)切割膜/DAF膜

         320毫米UV/非UV膜

長度：100米

厚度：0.05~0.2毫米

晶圓承載環(huán)

8"DISCO 或者K&S標(biāo)準(zhǔn)

貼膜定位精度

±1mm

裝卸方式

手動(dòng)晶圓/承載環(huán)放置與取出

防靜電控制

去離子風(fēng)扇

臺(tái)盤溫度

室溫~ 120℃，可編程控制

切割系統(tǒng)

環(huán)型切刀用于8"DISCO承載環(huán)

控制單元

基于PLC 控制，帶5.7"觸摸屏

安全防護(hù)

配置光簾保護(hù)和緊急停機(jī)按鈕

電源電壓

單相交流電220V,16A

壓縮空氣

60 PSI清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2.5立方英尺

機(jī)器結(jié)構(gòu)

全鋁型材制造，堅(jiān)固耐用

機(jī)器外殼

白色噴塑金屬外殼

體積

800毫米(寬)*1450毫米(深)*1980毫米(高)

凈重

350公斤