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小型化及可拆卸化設(shè)計(jì)，非常便于攜帶及教學(xué)激光檢測頭和樣品掃描臺(tái)集成一體，結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定，抗干擾性強(qiáng)精密探針定位裝置，激光光斑對準(zhǔn)調(diào)節(jié)非常簡便單軸驅(qū)動(dòng)樣品自動(dòng)垂直接近探針，使針尖垂直于樣品掃描馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測的智能進(jìn)針方式，保護(hù)探針及樣品自動(dòng)光學(xué)定位，無需調(diào)焦，實(shí)時(shí)觀測與定位探針樣品掃描區(qū)域彈簧懸掛式防震方式，簡單實(shí)用，防震效果好集成掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優(yōu)于98%
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