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上海爾迪儀器科技有限公司

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Diener 等離子清洗機(jī) Zepto W6

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  真空型

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技術(shù)應(yīng)用鏈接:特點(diǎn)：低壓等離子系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

技術(shù)應(yīng)用鏈接:

特點(diǎn)：

· 低壓等離子系統(tǒng)，用于不同材料表面的處理

· 配置自動(dòng)/手動(dòng)模式，實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能

· 6” Wafer去膠清洗

· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

· 操作簡(jiǎn)單易使用

技術(shù)規(guī)格：

型號(hào)		ZEPTO W6	ZEPTO W6 PCCE
控制系統(tǒng)		手動(dòng)控制	PCCE 控制系統(tǒng)
工藝氣路		雙路氣體
工藝氣體		O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等
單體導(dǎo)入		H2O等單體（選配）
流量計(jì)		針閥流量計(jì)	MFC流量計(jì)
真空腔體	材質(zhì)	高硼硅玻璃腔體，蓋子門帶觀察窗(石英，鉸鏈門選配)
	內(nèi)尺寸(Dia.×D)mm	160mm×180mm
	容積	4L
電極		360度外置環(huán)繞電極
發(fā)生器		40KHz 0~100 W 13.56MHz 0~50 W 13.56MHz 0~300 W
真空壓力計(jì)		指針式壓力計(jì)（選購(gòu)）	皮拉尼數(shù)字式壓力計(jì)
計(jì)時(shí)器		旋鈕式（選購(gòu)）	數(shù)字式
托盤		高硼硅玻璃（石英選配）
外形尺寸（WXDxH）mm		269x324x176(40kHz)		425x450x185(13.56MHz)
電源		AC220V 50Hz 10A
真空泵		排氣速度4m3/H

未找到相應(yīng)參數(shù)組，請(qǐng)于后臺(tái)屬性模板中添加

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，紡織服裝機(jī)械網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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