測厚儀SR100
特點：
· 易于安裝
· 基于視窗結構的軟件，很容易操作
· 的光學設計，以確保能發(fā)揮出*佳的系統(tǒng)性能
· 基于陣列設計的探測器系統(tǒng)，以確?？焖贉y量
· 的光源設計，有著較好的光源強度穩(wěn)定性
· 有四種方法來調整光的強度：
§ 通過電源的調節(jié)旋鈕來調節(jié)電源輸出的大小
§ 在光輸出端口濾光槽內調整濾光片來調整
§ 調整光束大小
§ 通過TFProbe軟件，在探測器里調整積分時間
· *多可測量5層的薄膜厚度和折射率
· 在毫秒的時間內，可以獲得反射率、傳輸率和吸收光譜等一些參數
· 能夠用于實時或在線的厚度、折射率測量
· 系統(tǒng)配備大量的光學常數數據及數據庫
· 對于每個被測薄膜樣品，用戶可以利用的軟件功能選擇使用NK數據庫、也可以進行色散或者復合模型（EMA）測量分析；
· 可升級至MSP（顯微分光光度計）系統(tǒng)，SRM成像系統(tǒng)，多通道分析系統(tǒng)，大點測量。
· 通過模式和特性結構直接測量。
· 提供的各種配件可用于特殊結構的測量，例如通過曲線表面進行縱長測量。
· 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數據管理界面。
系統(tǒng)配置：
· 型號：SR100R
· 探測器： 2048像素的CCD線陣列
· 光源：高穩(wěn)定性、長壽命的鹵素燈
· 光傳送方式：光纖
· 臺架平臺：特殊處理鋁合金，能夠很容易的調節(jié)樣品重量，200mmx200mm的大小
· 軟件： TFProbe 2.2版本的軟件
· 通訊接口：USB的通訊接口與計算機相連
· 測量類型：薄膜厚度，反射光譜，折射率
· 電腦硬件要求：P3以上、*低50 MB的空間
· 電源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A
· 保修：一年的整機及零備件保修
規(guī)格：
· 波長范圍：250nm到1100 nm
· 光斑尺寸：500μm至5mm
· 樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm
· 基板尺寸：*多可至50毫米厚
· 測量厚度范圍：2nm到50μm
· 測量時間：*快2毫秒
· 精確度：優(yōu)于0.5％（通過使用相同的光學常數，讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較）
· 重復性誤差：小于1?
應用:
· 半導體制造（PR，Oxide, Nitride..)
· 液晶顯示（ITO，PR，Cell gap... ..）
· 醫(yī)學，生物薄膜及材料領域等
· 油墨，礦物學，顏料，調色劑等
· 醫(yī)藥，中間設備
· 光學涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
· 半導體化合物
· 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜
· 非晶體，納米材料和結晶硅
9915 CH1L32C CH163D CS991 CH163C CS9914 CH132C CS9914 CH2L63D CH2L63C CS991 CH2L63B CS9911 CH263D CH263C CH263B CS2670 CS9919 CA1800 CA1630 CA1400 CA1250 CA1225 CA1160 CA1100 CA163 CS993 CM2630H CM2630M CM2630L CM2400H CM2400M CM2400L CM2225H CM2225M CM2225L AL30P AL30N CM2125H CM2125M CM2125L AL30D CM263H CM263M CM263L MS2520H CM1800/430 CM1800/430 CM1800/430 CM1800/4300 CM1630/4300 CM1630/43 CM1630/430
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