當前位置：深圳市利方達科技有限公司>>>>四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀

四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地深圳市

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

紡織服裝機械網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-03-07 18:52:59瀏覽次數(shù)：144次

聯(lián)系我時，請告知來自紡織服裝機械網(wǎng)

產(chǎn)品分類 品牌分類

暫無信息

深圳市利方達科技有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：41條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：田經(jīng)理

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

分析真空系統(tǒng)常規(guī)氣體，檢測真空問題與快速消除故障...

詳細介紹

特點及應(yīng)用：
操作簡單，方便可靠

在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體

優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量

對真空系統(tǒng)檢漏

減少停機時間，提高流片量

價格低廉，極為優(yōu)異的性價比

濺射工藝在線質(zhì)譜分析儀
SPM-MC濺射工藝在線質(zhì)譜分析儀是專為鍍膜生產(chǎn)等工業(yè)應(yīng)用開發(fā)在線濺射工藝四極質(zhì)譜分析儀。分析室采用超高真空金屬密封和無油超高真空分子泵抽氣系統(tǒng)，真空系統(tǒng)控制采用單按鈕式，全量程自動監(jiān)測并開啟四極質(zhì)譜。取樣系統(tǒng)采用不銹鋼波紋管及手動閥門，直接接入工藝真空室采樣。分析器采用抗氧化敷釷銥絲雙燈絲和法拉第接收杯四極質(zhì)譜，通過RS232接入筆記本電腦，由專用的控制軟件分析，完成對濺射工藝真空室的分壓測量和成份分析:掃描全譜，趨勢分析，檢漏等。

規(guī)格：
測量氣體范圍
XT100（M）   1到100 amu
XT200（M）   1到200 amu
XT300（M）   1到300 amu

檢測類型法拉第杯（FC）或電子倍增器（EM）
靈敏度（A/mbar） 5×10-4torr，法拉第杯，氮28, 10%峰高
分辨率   1 amu ，10%峰高
最小可檢分壓強   10-11 torr或10-14 torr（電子倍增
  器），氮28，10%峰高
工作范圍 10-4 torr到超高真空
工作環(huán)境溫度    40°C
烘烤溫度    300°C（不包括CCU）
通訊端口 RS-232C，115,200 Baud
軟件運行環(huán)境   Windows® 2000或XP