捷歐路JEOL JSM-7800FPRIME 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡采用新開發(fā)的超高分辨率GBSH模式，達(dá)到了高水準(zhǔn)的分辨率。浸沒式肖特基Plus電子槍，將探針電流從200nA提高到了500nA。電子槍和低像差聚光鏡的優(yōu)化組合，實現(xiàn)了更高的亮度，能有效采集電子槍中發(fā)射的電子，即使在低加速電壓下也能獲得幾pA～數(shù)10 nA 探針電流，保持最小的物鏡光闌就可以進(jìn)行納米尺寸的高分辨率觀察、快速元素面分布及EBSD分析。

捷歐路JEOL JSM-7800FPRIME 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡配有四種檢測器：高位檢測器(UED) 、高位二次電子檢測器(USD)、背散射電子檢測器(BED)和低位檢測器(LED)。UED過濾器的電壓不同，二次電子和背散射電子的數(shù)量會改變，因此可以選擇電子的能量，USD檢測被過濾器彈回的低能量電子，BED通過檢測低角度的背散射電子，能清楚地觀察通道襯度。利用LED的照明效果能夠獲得含有形貌信息的、富有立體感的圖像。

分辨率	0.7 nm(15 kV)、0.7 nm(1 kV) 分析模式：3.0 nm (5kV、WD10mm、5nA)
倍率	× 25 ～ × 1,000,000
加速電壓	0.01kV ～ 30kV
束流	數(shù)pA～500nA
自動光闌角控制透鏡	內(nèi)置
檢測器	高位檢測器(UED) 低位檢測器(LED)
能量過濾器	UED過濾器電壓可變功能內(nèi)置
Gentle Beam模式	內(nèi)置
樣品臺	全對中測角樣品臺、5軸馬達(dá)驅(qū)動
樣品移動范圍	X:70mm, Y:50mm Z: 2mm to 25mm 傾斜－5 ～＋70° 旋轉(zhuǎn)360°

應(yīng)用實例

捷歐路JEOL JSM-7800FPRIME 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡標(biāo)配了GBSH模式。下圖是高定向熱解石墨(HOPG)解理面的二次電子像，到達(dá)樣品時的能量為1keV，左圖中樣品偏壓為-2kV，右圖中樣品偏壓為-5kV。可以看出利用GBSH(樣品偏壓-5 kV)模式觀察，HOPG的微細(xì)結(jié)構(gòu)更加清晰，達(dá)到的分辨率更高。

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