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超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU9000

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專門為電子束敏感樣品和需300萬(wàn)倍穩(wěn)定觀察的*半導(dǎo)體器件，高分辨成像所設(shè)計(jì)

詳細(xì)介紹

專門為電子束敏感樣品和需300萬(wàn)倍穩(wěn)定觀察的*半導(dǎo)體器件，高分辨成像所設(shè)計(jì)。

特點(diǎn)

1.新的電子槍和電子光學(xué)設(shè)計(jì)提高了低加速電壓性能。

　0.4 nm / 30 kV (SE)

　1.2 nm / 1 kV (SE)

　0.34 nm / 30 kV (STEM)

2.用改良的高真空性能和的電子束穩(wěn)定性來(lái)實(shí)現(xiàn)高效率截面觀察。

3.采用全新設(shè)計(jì)的Super E x B能量過(guò)濾技術(shù)，高效，靈活地收集SE / BSE/ STEM信號(hào)。

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