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Diener FEMTO 等離子清洗機

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更新時間：2024-03-04 19:40:08瀏覽次數(shù)：164次

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河北省科學(xué)器材公司

經(jīng)營模式：其他

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產(chǎn)品簡介

應(yīng)用領(lǐng)域：REM

詳細(xì)介紹

應(yīng)用領(lǐng)域：

規(guī)格、參數(shù)：

系列	Femto
控制系統(tǒng)	半自動型 PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE) PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)
體積	1.9~6L
真空腔室	圓形不銹鋼件，配有蓋子（大約 Φ 100 mm, 長 278 mm 或者長 600 mm）矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門（約寬 103 x 深 285 x 高 103) 配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門（大約Φ 95 mm, 長 280 mm 或者長 600 mm）配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門（大約 Φ 95 mm, 長 280 mm 或者長 600 mm）配有蓋子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有鉸鏈的門（大約Φ 95 mm，長 280 mm 或者長 600 mm）
電極	單層或多層 RIE
樣品支架	（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃
氣源	針型閥質(zhì)量流量控制器 (MFCs)
壓力計	Pirani Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）
計時器	數(shù)字型
高頻電流發(fā)生器	40 kHz: 功率 0 - 100 W；0 - 1000 W 13.56 MHz；功率 0 - 50 W；0 - 300 W 12.45 GHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W 所有發(fā)生器均為 0 - 99% 無級可調(diào)型
真空泵	KASHIYAMA
電源	供電電源：臺式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位