1. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
Harrick Plasma是國(guó)際的等離子清洗器生產(chǎn)商,在業(yè)內(nèi)已經(jīng)有三十多年的經(jīng)驗(yàn)。他所生產(chǎn)的小型等離子清洗器結(jié)構(gòu)緊湊、質(zhì)量可靠、價(jià)格合理;廣泛地被大中院校、科研機(jī)構(gòu)、企業(yè)研發(fā)機(jī)構(gòu)和實(shí)驗(yàn)室采用。其產(chǎn)品主要應(yīng)用在材料科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)藥材料學(xué)、微流體研究、微電子機(jī)械系統(tǒng)研究、光學(xué)、顯微術(shù)、牙科醫(yī)療等領(lǐng)域中的污染物清除、表面活化、粘合前處理、表面化學(xué)改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。該產(chǎn)品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導(dǎo)體、陶瓷、復(fù)合材料、高分子聚合物等材料,并對(duì)所處理的材料表面帶來(lái)表面超潔凈、殺菌、提高濕潤(rùn)性轉(zhuǎn)變、表面性質(zhì)改變、提高結(jié)合力等處理效果。
2. 主要特征:
1)臺(tái)式設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊精致
2)低、中、高三檔可調(diào)節(jié)功率,可為30W
3)設(shè)備輻射小,安全環(huán)保
3. 基本參數(shù):
1)外形尺寸:11"H x 18"W x 9"D(279mm x 457mm x 228mm)
2)重量:20.0kg
3)輸入電源:220 V / 50Hz
4) 輸入功率:200 W
5)功率檔:
低檔716V DC、10mA DC、7.16W
中檔720V DC、15mA DC、10.15W
高檔740V DC、40mA DC、29.6W
6)常用工作氣體:
空氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w等
7)基本配置:
直徑6英寸,長(zhǎng)6.5英寸的耐熱玻璃艙體。
可拆卸艙蓋。
含磁力鎖和可視窗的鉸鏈艙蓋。
為30W的RF線圈。
1/8英寸NPT針閥
1/8英寸NPT三通閥
8) 選配件:
石英等離子清洗艙
石英托盤(pán)(用于放置樣品)
氣體計(jì)量混合器Plasma FloTM
9)周邊設(shè)備:
基本型專(zhuān)用真空泵(PDC-VPE-2)
4. 可選件:
4.1. 選件一:氣體計(jì)量混合器PlasmaFloTM
功能及配置簡(jiǎn)介:
1)Harrick PlasmaFloTM氣體計(jì)量混合器是一臺(tái)可任選的以滿(mǎn)足客戶(hù)的不同需求的備件。主要應(yīng)用于樣品的表面改性。
2)在等離子清洗過(guò)程中氣體流混合和壓力監(jiān)視。
3)為向艙內(nèi)注入兩種氣體提供了可能。
4)含兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的氣體流量計(jì)(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
5)溫差電偶真空度表測(cè)量艙內(nèi)壓力
6)適用氣體:空氣、氮?dú)?、氬氣或混合氣體。
7)尺寸:8 1/2"H x 10"W x 8"D
8)訂貨號(hào):PDC-FMG-2
4.2. 選件二:真空泵
Harrick等離子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm),壓力為200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。
PDC-VP-2 (220V)
1) 抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
2) 極限壓力(氣鎮(zhèn)關(guān)):1.5 mTorr
3)極限壓力(氣鎮(zhèn)開(kāi)):23 mTorr
4) 電機(jī)功率:(50/60 Hz): 250/300 W
5)重量: 34 lbs
6)尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
4.3. 選件三:石英等離子清洗艙及托盤(pán)