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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市順心科技有限公司


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SEM Mill離子束切割拋光系統(tǒng)

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號1061

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地深圳市

紡織服裝機械網(wǎng)采購部電話:0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式:查看聯(lián)系方式

更新時間:2023-11-18 13:21:04瀏覽次數(shù):209次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:140條

所在地區(qū):廣東深圳市

產(chǎn)品簡介

SEM Mill 作為采用技術(shù)制造的離子束切割 拋光系統(tǒng),提供可靠、高性能的樣品制備能力,能夠在最短時間內(nèi)解決各類掃描電鏡制樣 困難材料的制樣問題,同時具備緊湊、精確以 及高穩(wěn)定性的優(yōu)點。

詳細(xì)介紹

技術(shù)簡介

離子拋光技術(shù)通常采用惰性氣體 氬,通過將氬氣離子化后,在電場 加速作用下轟擊到樣品表面,利用 動量轉(zhuǎn)移的方式進(jìn)行可控速率條件下,物理濺射轟擊的方式對樣品表面進(jìn)行精細(xì)拋光處理,滿足掃描電 鏡/EBSD等表面敏感分析技術(shù)制樣需求子拋光技術(shù)通常采用惰性氣體 氬,通過將氬氣離子化后,在電場 加速作用下轟擊到樣品表面,利用動量轉(zhuǎn)移的方式進(jìn)行可控速率條件 下,物理濺射轟擊的方式對樣品表 面進(jìn)行精細(xì)拋光處理,滿足掃描電鏡/EBSD等表面敏感分析技術(shù)制樣需求。

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產(chǎn)品特點

? 兩支獨立可調(diào)電磁聚焦離子槍 

? 同時具備高能量(快速拋光)和低能量(精細(xì)修復(fù)) 

? 超寬加速電壓范圍:100eV到10kV,不同加速電壓下, 離子束束斑均保持最細(xì)束斑狀態(tài) 

? 每支離子槍均配備對應(yīng)法拉第杯進(jìn)行離子束直接探測 

? 采用可調(diào)節(jié)10英寸觸屏控制系統(tǒng),人機界面友好,操作 簡潔 

? 配備橫截面切割裝載及定位工具 

? 配備磁編碼器,帶有樣品測厚功能,自動匹配拋 光位置,保證的拋光質(zhì)量和效率 

? 拋光角度范圍:0°到 +10°連續(xù)可調(diào) 

? 具備原位實時觀察及記錄拋光過程功能 

? 樣品可360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)或搖擺,離子束自動避讓樣品夾 

? 可通過時間或溫度自動停止 

? 可選液氮冷臺配置,去除熱效應(yīng)對樣品的損傷 

? 可選真空或惰性氣體轉(zhuǎn)移裝置,隔絕樣品與水氧接觸

技術(shù)規(guī)格
Model 1061 SEM Mill 技術(shù)規(guī)格
離子源

兩支TrueFocus電磁聚焦離子源

可變能量范圍100 eV到10 keV ,束

密度可達(dá)10 mA/cm2 

拋光角度 0° 到 +10?連續(xù)可調(diào)可 

選擇單槍或雙槍工作模式 

兩支離子槍能量可獨立調(diào)節(jié) 

可選手動或自動馬達(dá)離子槍 

離子束束斑大小300μm —5mm連續(xù)可調(diào)

樣品臺

樣品尺寸: 

橫截面切割:Max 25x10x7mm

平面拋光:32mm直徑 x 25mm 高

360? 旋轉(zhuǎn)且轉(zhuǎn)速可調(diào),同時樣品臺可搖擺 

磁編碼器提供定位精度

液氮冷臺

可選液氮冷臺升級,冷卻時間分為3-5小時 和18小時以上兩種 

溫度<-170℃~室溫,具備自動程序化控溫設(shè)計

拋光速率500μm/Hr(Si@10keV)
真空系統(tǒng)

80L/s分子泵加多級無油隔膜泵

配有寬量程規(guī),無需清潔

真空轉(zhuǎn)移可選真空轉(zhuǎn)移或惰性氣體保護下轉(zhuǎn)移升級
氣源

99.999%高純氬氣,使用壓力 15 psi

配備精確氣體質(zhì)量流量計

人機界面

10英寸觸屏設(shè)計,可實現(xiàn)配方編程控制

可選遠(yuǎn)程燈光指示器

電源220/240 VAC, 50/60 Hz, 720 W
尺寸/重量68cm(W)X55cm(H)X 54cm(D),73kg


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