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美能Poly在線膜厚測(cè)試儀

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蘇州上器試驗(yàn)設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

美能Poly5000在線膜厚測(cè)試儀采用行業(yè)微納米薄膜光學(xué)測(cè)量創(chuàng)新技術(shù)，利用光學(xué)干涉原理，通過(guò)分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的光譜，快速、連續(xù)監(jiān)測(cè)工業(yè)產(chǎn)線上各式薄膜的厚度以及光學(xué)常數(shù)，快速準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息。

詳細(xì)介紹

光強(qiáng)均勻、頻譜穩(wěn)定

美能Poly5000在線膜厚測(cè)試儀采用鎢鹵素?zé)?，有效光譜范圍320nm~2400nm，發(fā)射出連續(xù)光譜，涵蓋了從紫外線到紅外線的所有光波段。一臺(tái)機(jī)器覆蓋多臺(tái)機(jī)器的測(cè)量范圍，保證測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性。

毫秒級(jí)別采樣速度

美能Poly5000光譜儀專門針對(duì)光伏應(yīng)用客戶設(shè)計(jì)并開發(fā)，光譜范圍300~1100nm，光斑70μm，適用光伏行業(yè)的測(cè)試環(huán)境及條件。配合美能的光譜擬合法，最終擬合獲得薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)，實(shí)現(xiàn)超廣測(cè)量范圍20nm~2000nm和0.5nm的超高重復(fù)性精度。

全新智能地操作體驗(yàn)

美能Smart Poly操作軟件，快速、智能且易于使用。使用直觀且用戶友好的獨(dú)立PC程序無(wú)需用戶自己編寫任何代碼即可快速表征材料。操作軟件確保準(zhǔn)確的結(jié)果，以便對(duì)材料進(jìn)行廣泛的電氣表征。

Poly膜厚在線監(jiān)控

?99%Poly-si沉積工藝監(jiān)控，提高產(chǎn)品良率

?非接觸、無(wú)損測(cè)量，零碎片率，保證生產(chǎn)效率

?提高產(chǎn)線自動(dòng)化生產(chǎn)水平，機(jī)器自動(dòng)測(cè)試代替人工離線測(cè)試，節(jié)約人力成本

?測(cè)試速度快，單片測(cè)試時(shí)間＜0.5s

?膜厚重復(fù)性測(cè)量精度：＜0.5nm（100次連續(xù)測(cè)試）

項(xiàng)目	內(nèi)容
光譜范圍	300nm~1100nm
Poly膜厚測(cè)試范圍	20nm~2000nm
Poly膜厚測(cè)試精度	±1nm
Poly膜厚測(cè)試重復(fù)性	0.5nm（單點(diǎn)靜態(tài)100次測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)偏差）
測(cè)試速度	＜0.5s/5點(diǎn)
測(cè)試點(diǎn)數(shù)	5點(diǎn)（5點(diǎn)測(cè)試具體方位：中心點(diǎn)位上下左右間隔60nm）