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反應(yīng)離子刻蝕(RIE/ICP-RIE)

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地深圳市

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:54條

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聯(lián)系人:瞿經(jīng)理

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

反應(yīng)離子刻蝕(ReactiveIonEtching,RIE)是指在平板電極間施加射頻電壓,通過(guò)產(chǎn)生的等離子體對(duì)樣品進(jìn)行化學(xué)和物理刻蝕

詳細(xì)介紹

反應(yīng)離子刻蝕(Reactive Ion Etching, RIE)是指在平板電極間施加射頻電壓,通過(guò)產(chǎn)生的等離子體對(duì)樣品進(jìn)行化學(xué)和物理刻蝕。矽碁科技提供各類定制化RIE設(shè)備,廣泛應(yīng)用于氧化硅、氮化硅及各類電介質(zhì)材料刻蝕,此外矽碁還可以提供電感耦合反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(ICP-RIE),該機(jī)型可提供更高的等離子濃度,適合金屬等其他材料的刻蝕。


技術(shù)參數(shù):

1 基片尺寸可定制;

2 多層式工藝氣體導(dǎo)入,氣體分布均勻;

3 獨(dú)立MFC控制箱,可靈活擴(kuò)充工藝氣路;

4 基板水冷系統(tǒng),保持刻蝕時(shí)基板溫度恒定;

5 刻蝕均勻性優(yōu)于 ±5%;


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