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高檔型半導(dǎo)體檢測(cè) TBM-800

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高檔型半導(dǎo)體檢測(cè)TBM-800詳細(xì)技術(shù)參數(shù)一、儀器用途　TBM-800半導(dǎo)體檢測(cè)儀是檢測(cè)雙極型晶體管的基區(qū)寬度，半導(dǎo)體晶片的直徑、平整度、光潔度、表面污染、傷痕等，刻蝕圖形的線條長(zhǎng)、寬、直徑間距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑的儀器

詳細(xì)介紹

高檔型半導(dǎo)體檢測(cè) TBM-800詳細(xì)技術(shù)參數(shù)

一、儀器用途

　TBM-800 半導(dǎo)體檢測(cè)儀是檢測(cè)雙極型晶體管的基區(qū)寬度，半導(dǎo)體晶片的直徑、平整度、光潔度、表面污染、傷痕等，刻蝕圖形的線條長(zhǎng)、寬、直徑間距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑的儀器。配備大視野目鏡與偏光觀察裝置，透反射照明采用“柯勒"照明系統(tǒng)，視場(chǎng)清晰?？捎糜诎雽?dǎo)體硅晶片、LCD基板、電路板、固體粉未及其它各種透明或不透明工業(yè)試樣的檢驗(yàn)，是生物學(xué)、金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)、電子工程學(xué)等研究的理想儀器,廣泛應(yīng)用在工廠、實(shí)驗(yàn)室和教學(xué)及科研等領(lǐng)域。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

　　配置大視野目鏡和長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片)，視場(chǎng)大而清晰。配置大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)，能快速和慢速移動(dòng)。粗微動(dòng)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，粗動(dòng)松緊可調(diào)，帶鎖緊和限位裝置，微動(dòng)格值:2μm。6V 20W鹵素?zé)?亮度可調(diào)。三目鏡筒,可自由切換正常觀察與偏光觀察，可進(jìn)行99%透光攝影。不僅可以在目鏡上作顯微觀察，還能在計(jì)算機(jī)顯示屏幕上觀察實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)圖像，并能將所需要的圖片進(jìn)行編輯、保存和打印。

三、技術(shù)參數(shù)

1.目鏡

類型	放大倍數(shù)	視場(chǎng)(mm)
大視野目鏡	10X	φ18

2.物鏡

類別	放大倍數(shù)	孔徑數(shù)值	工作距離(mm)
長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡	5X	0.12	9.7
	10X	0.25	9.3
	20X	0.40	7.2
	40X	0.60	3.0
	80x	0.80	1.2

3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X 100X 200X 400X 800x
4.三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換)
5.五孔轉(zhuǎn)換器 (外向式滾珠內(nèi)定位)
6.載物臺(tái):三層機(jī)械移動(dòng)式，尺寸: 250mmX230mm,移動(dòng)范圍: 154mmX154mm
7.粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 微動(dòng)格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
8.照明系統(tǒng)：6V 20W鹵素?zé)?亮度可調(diào)；帶視場(chǎng)光欄、孔徑光欄,起偏振片,,
9.濾色片組：(黃,藍(lán),綠,磨砂)
10.防霉系統(tǒng)

四、系統(tǒng)組成

(TBM-800):1.顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.A/D(圖像采集)

五、總放大參考倍數(shù)

TBM-800型:503500倍

六、選購(gòu)件

1.目鏡:16X 10X分劃　　2.物鏡:50X 60X 100X　　3.二維測(cè)量軟件