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日立5300E環(huán)境多功能原子力顯微鏡

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產(chǎn)品簡介

AFM5300E是一款環(huán)境型原子力顯微鏡，它的環(huán)境控制單元可以使樣品在大氣中、真空中、溶液中等環(huán)境中進行測量。AFM5300E還具有高低溫控制功能，可以檢測溫度對樣品表面形貌和物理特性的影響。· 特點1. 環(huán)境控制功能（大氣，真空，液體，溫控等）AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測試環(huán)境，限度減小樣品表面吸附水對測試的影響，實現(xiàn)精確的物理特性測量。真空環(huán)境下可以實現(xiàn)更大范圍的溫...

詳細介紹

概述

產(chǎn)品參數(shù)

AFM5300E是一款環(huán)境型原子力顯微鏡，它的環(huán)境控制單元可以使樣品在大氣中、真空中、溶液中等環(huán)境中進行測量。AFM5300E還具有高低溫控制功能，可以檢測溫度對樣品表面形貌和物理特性的影響。

1. 環(huán)境控制功能（大氣，真空，液體，溫控等）

AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測試環(huán)境，限度減小樣品表面吸附水對測試的影響，實現(xiàn)精確的物理特性測量。真空環(huán)境下可以實現(xiàn)更大范圍的溫度控制。另外，新開發(fā)的『溫度掃描功能』可監(jiān)視樣品Z方向的熱脹冷縮，通過控制反饋信號，使懸臂在變溫環(huán)境下連續(xù)測試樣品表面的物理特性。
（3857581號、3926638號）

●大氣中　●液體中　●真空中　●特殊氣氛（流量控制）
●溫度控制加熱?冷卻(-120～300℃)　高溫(室溫～800℃)
●濕度控制(0～80%)
●外加磁場（水平、垂直、面內(nèi)旋轉(zhuǎn)、max 5000 Oe ）

2. 簡便操作（綜合型Holder Flange）

通過采用『綜合型Holder Flange開合功能』，樣品和掃描器更換更為方便的同時，免去了以往環(huán)境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調(diào)整。也省去測試模式切換時的支架更換環(huán)節(jié)。

3. 的高性能

采用了『Swing Cancel功能』，減輕了樣品的浮動，降低了漂移。提高了納米分析性能，提升了可信度。漂移量：0.015nm/sec以下

4. 通過減輕表面吸附水的影響，提高了電氣性能的檢測精度

真空環(huán)境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響，因而實現(xiàn)高分辨高靈敏的電學(xué)性能分析。

產(chǎn)品參數(shù)

分辨率	原子相
樣品尺寸	20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度擴展至20 mm)
樣品移動范圍	X-Y stage 5 mm
掃描范圍	標準： 20 µm□/1.5 µmH ? 150 µm□/5 µmH ? 15 µm□/1.5 µmH（閉環(huán)差控制）定位顯微鏡 ? 簡易顯微鏡（×200倍） ? 光學(xué)顯微鏡（×1000倍） ? 變焦顯微鏡（×700倍） ? 金相顯微鏡（裝有微分干渉）（×2000倍）
檢測功能	AFM（接觸模式） DFM（輕敲模式） PM（相位） FFM（摩擦） MFM（磁力） SIS模式 LM-FFM（橫向摩擦） VE-AFM/DFM（粘彈性） Adhesion（吸附力） CURRENT（電流） SSRM（擴展抵抗） SNDM（非線性介電常數(shù)） PRM（壓電響應(yīng)）、KFM（表面電位）液體中AFM/DFM EC-AFM/STM NanoIndentation（硬度） Nano-TA（微區(qū)加熱）
選配件	高溫加熱樣品臺加熱冷卻兼用樣品臺冷卻真空溫度控制