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Sigma 掃描電子顯微鏡

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靈活的探測(cè)，4步工作流程，高級(jí)的分析性能將高級(jí)的分析性能與場(chǎng)發(fā)射掃描技術(shù)相結(jié)合，利用成熟的Gemini電子光學(xué)元件

詳細(xì)介紹

靈活的探測(cè)，4步工作流程，高級(jí)的分析性能

將高級(jí)的分析性能與場(chǎng)發(fā)射掃描技術(shù)相結(jié)合，利用成熟的 Gemini 電子光學(xué)元件。多種探測(cè)器可選：用于顆粒、表面或者納米結(jié)構(gòu)成像。Sigma 半自動(dòng)的4步工作流程節(jié)省大量的時(shí)間：設(shè)置成像與分析步驟，提高效率。

Sigma 300 性價(jià)比高。Sigma 500 裝配有的背散射幾何探測(cè)器，可快速方便地實(shí)現(xiàn)基礎(chǔ)分析。任何時(shí)間，任何樣品均可獲得精準(zhǔn)可重復(fù)的分析結(jié)果。

■ 特點(diǎn)：

用于清晰成像的靈活探測(cè)

利用探測(cè)術(shù)為您的需求定制 Sigma，表征所有樣品。
利用 in-lens 雙探測(cè)器獲取形貌和成份信息。
利用新一代的二次探測(cè)器，獲取高達(dá)50%的信號(hào)圖像。在可變壓力模式下利用 Sigma 創(chuàng)新的 C2D 和可變壓力探測(cè)器，在低真空環(huán)境下獲取高達(dá)85%對(duì)比度的銳利的圖像。

自動(dòng)化加速工作流程

4步工作流程讓您控制 Sigma 的所有功能。在多用戶環(huán)境中，從快速成像和節(jié)省培訓(xùn)，首先對(duì)樣品進(jìn)行導(dǎo)航，然后設(shè)置成像條件。
首先，先對(duì)樣品進(jìn)行導(dǎo)航，然后設(shè)置成像條件。
接下來(lái)對(duì)樣品感興趣的區(qū)域進(jìn)行優(yōu)化并自動(dòng)采集圖像。最后使用工作流程的步，將結(jié)果可視化。

高級(jí)分析型顯微鏡

將掃描電子顯微鏡與基本分析相結(jié)合：Sigma 的背散射幾何探測(cè)器大大提升了分析性能，特別是對(duì)電子束敏感的樣品。
在一半的檢測(cè)束流和兩倍的速度條件下獲取分析數(shù)據(jù)。
獲益于 8.5 mm 短的分析工作距離和 35° 夾角，獲取完整且無(wú)陰影的分析結(jié)果。

基于成熟的 Gemini 技術(shù)

Gemini 鏡頭的設(shè)計(jì)結(jié)合考慮了電場(chǎng)與磁場(chǎng)對(duì)光學(xué)性能的影響，并將場(chǎng)對(duì)樣品的影響降至更低。這使得即使對(duì)磁性樣品成像也能獲得出色的效果。
Gemini in-lens 的探測(cè)確保了信號(hào)探測(cè)的效率，通過(guò)二次檢測(cè)(SE)和背散射(BSE)元件同時(shí)減少成像時(shí)間。
Gemini 電子束加速器技術(shù)確保了小的探測(cè)器尺寸和高的信噪比。

Schematic cross section of Gemini optical column.