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微光顯微鏡EMMI（P-100）

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更新時間：2025-05-21 08:52:53瀏覽次數(shù)：3次

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上海儀準電子科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

EMMI測試系統(tǒng)又名光發(fā)射顯微鏡，是器件失效分析中漏電定位的重要工具。P-100 EMMI測試系統(tǒng)是儀準科技自有品牌，進入中國已經(jīng)有15年之久。目前國內擁有三安光電、中興通訊、智芯微電子、歐司朗、北京772所、MPS、樂山菲尼克斯、深圳明微、國家軟件測評中心等幾十家客戶。

詳細介紹

微光顯微鏡EMMI（P-100）

產(chǎn)品簡介：

具體規(guī)格如下：

Si探測器	采集晶片	硅基芯片
	像素	1024 × 1024 pixel
	像素尺寸	13 微米 × 13 微米
	晶片尺寸	13.3毫米 × 13.3 毫米
	噪音	6 electrons rms
	冷卻方式	電制冷+水冷
	探測器晶片降溫	-70°C
	冷卻時間	小于10分鐘（常溫至-70°C）
InGaAs探測器	采集晶片	銦砷化鎵晶片
	像素	640 × 512 pixel
	像素尺寸	20 微米 x 20 微米
	圖像范圍	12.8毫米 x 10.24 毫米
	冷卻方式	電制冷+水冷
	探測器晶片降溫	-70°C
	冷卻時間	小于10分鐘（常溫至-70°C）
探針臺	尺寸	6、8、12寸單雙面探針臺可選
	電壓范圍	3000V以下可選
	電流范圍	直流10A以內；脈沖40A以內可選
	探針座移動精度	0.7微米
主機臺	移動方式	電控移動
	X-Y-Z移動范圍	505070毫米（z軸移動100毫米選配）
	X-Y移動精度	1微米
	Z移動精度	0.2微米
光學顯微鏡	品牌	日本三豐
	目鏡	10X一對
	物鏡	2.5x,5x,20x,50x(100x選配）
其它	屏蔽箱	關門自動切斷光源，內部處于暗場環(huán)境
其它	減震臺	97%@10HZ