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AG半導(dǎo)體專用高精度自動(dòng)測(cè)量?jī)x

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東莞市索必克精密儀器有限公司

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所在地區(qū)：廣東東莞市

聯(lián)系人：周功松

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

儀器特點(diǎn)：1、X、Y、Z三軸全自動(dòng)測(cè)量?jī)x2、高清130萬(wàn)數(shù)字相機(jī)3、Z軸軟件自動(dòng)精準(zhǔn)聚焦

詳細(xì)介紹

儀器特點(diǎn)：

1、X、Y、Z三軸全自動(dòng)測(cè)量?jī)x

2、高清130萬(wàn)數(shù)字相機(jī)

3、Z軸軟件自動(dòng)精準(zhǔn)聚焦。該測(cè)量軟件高度集成，能提高檢測(cè)效率及精度

4、主要應(yīng)用檢測(cè)半導(dǎo)體芯片的共面度、平面度、平整度

5、儀器又稱激光平面度測(cè)量?jī)x

主要參數(shù)：

型號(hào)		AG300CNC
行程(mm)		300×200×200
外形尺寸(mm)		1450X1050X1650
重量(kg)		450
承重(kg)		20
X 、Y軸測(cè)量精度(μm)		1.5+L/250
Z軸測(cè)量精度(μm)		2+L/200
重復(fù)精度（μm）		2
X、Y軸運(yùn)動(dòng)速度		0-100mm/S（任意選擇）
Z軸運(yùn)動(dòng)速度		0-20m/S(任意選擇)
操作方式		搖桿+軟件
光柵尺		0.0001mm分辨率光柵尺
導(dǎo)軌		中國(guó)臺(tái)灣“上銀"精密級(jí)直線導(dǎo)軌
絲桿		中國(guó)臺(tái)灣“TBI"研磨滾珠絲桿
軸承		日本原裝“NSK"雙例組合向心球軸承
電機(jī)		日本“松下"交流伺服電機(jī)，定位精度≤0.001mm
光電限位開(kāi)關(guān)		日本原裝“歐姆龍"光電限位開(kāi)關(guān)
圖像傳感器CCD		130萬(wàn)像素彩色高清數(shù)字CCD（千兆網(wǎng)）
光源	輪廓光	LED冷光源，球頂透射光實(shí)現(xiàn)平行光照射
	表面光	4環(huán)8分區(qū)LED冷光源，軟件操控，減少電氣元件損壞。
光學(xué)鏡頭		0.7-4.5X同軸光自動(dòng)變倍鏡頭
金相物鏡		10X/0.28（35mm長(zhǎng)工作距離）
放大倍率		光學(xué)放大倍率：7～45X；影像放大倍率：240～1100X
軟件		SBK-CNC專用全自動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)版測(cè)量軟件
電源		220V/50Hz/3A
工作環(huán)境		溫度25℃±2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度30～80%
影像儀專用桌		內(nèi)置開(kāi)關(guān)電源、控制器、電源控制開(kāi)關(guān)、指示燈、急停開(kāi)關(guān)、移動(dòng)滾輪