● 具有快速自動對焦，自動尋邊，強大的編程和自動測量功能。
● 采用亞像素細分技術，提高邊界分辨能力。
● SPC數(shù)據(jù)處理分析，提高邊界分辨能力
● X、Y、Z三軸伺服控制，定位精度高速度快，X、Y速度可達300mm/s,運行平穩(wěn)
● X、Y向導軌采用高精度花崗石，具有高穩(wěn)定性及剛性，不易變形
● XY向移動的部分采用摩擦，高速度，高精度的氣浮移動導向系統(tǒng)
● 可選配自動變倍功能，無需頻繁像素校正實現(xiàn)多倍率下高效測量
● 可配白光進行納米級深度測量
● 采用氣浮傳動，精度高，穩(wěn)定性好
● 花崗石直線度和玻璃平面度好，花崗石導軌無摩擦、不磨損
● 激光指示器指示測量位置，快速定位，并輔助對焦。
● 配置操縱手柄(方便測量孔類工件)
● 可選配鏡頭(適合不同的物方視場) 技術規(guī)格參數(shù) 型號 VMS-6060H VMS-6090H 玻璃臺尺寸(mm) 640*770 640*1070 運動行程(mm) 600*600*200 600*900*200 外形尺寸(L*W*H)(mm) 1500*1300*1510 1800*1300*1510 儀器重量(kg) 1281 1500 X、Y、Z數(shù)顯表分辨力 0.5μm 0.5μm X、Y坐標示值誤差 (3+L/200)μm(L為被測量長度，單位:mm) (3+L/200)μm(L為被測量長度，單位:mm) 影像系統(tǒng)攝像機： 1/2"CCD攝像機
變倍物鏡倍率 ： 0.7X---4.5X
視頻倍率： 23.5X-148X
物方視場： 11.1mm-1.7mm
表面光源與透射光源均用LED，亮度可調
可選配RENISHAW簡易測頭和M3D-MBC測量軟件 VMS-6060H/6090H工作環(huán)境 電 源 AC100----240V 50/60Hz 功 率 450W(不包含電腦) 氣源壓力 ≥0.5MPa 空氣流量 120L/min (0.4MPa) 溫度范圍 20±2℃ < 1℃/h < 2℃/24h < 1℃/m 濕 度 55%—65% 儀器配件
| 儀器配件 | 1X鏡筒(標配) | 0.5X鏡筒(選配) | 工作距離 | ||
| 變 倍 鏡 | 0.7X～4.5X | 0.7X～4.5X | (mm) | ||
| 附 加 鏡 | 視頻倍率 | 物方視場(mm) | 視頻倍率 | 物方視場(mm) | |
| 0.5X (選) | 11.8X～74X | 22～3.4 | 5.9X～37X | 44～6.8 | 175 |
| 標 配 | 23.5X～148X | 11.1～1.7 | 11.8X～74X | 22～3.4 | 92 |
| 2X (選) | 47X～296X | 5.5～0.9 | 23.5X～148X | 11.1～1.7 | 36 |
