型號 | CMS-554M | CMS-564M | CMS-574M | CMS-584M | CMS-665M | CMS-685M | CMS-6105M | |
行程 | X | 480 | 480 | 480 | 480 | 580 | 580 | 580 |
Y | 500 | 600 | 700 | 800 | 600 | 800 | 1000 | |
Z | 400 | 400 | 400 | 400 | 500 | 500 | 500 | |
儀器精度 | 空間精度 MPEE（3.5+L/250)μm 單軸精度 MPEE1（3.0+L/250)μm | |||||||
結構形式 | 移動橋式 | |||||||
分辯率 | 0.5μm | 0.5μm | 0.5μm | 0.5μm | 0.5μm | 0.5μm | 0.5μm | |
外形尺寸 | 1.0*1.1*2.2(m) | 1.0*1.2*2.2(m) | 1.0*1.3*2.2(m) | 1.0*1.4*2.2(m) | 1.14*1.1*2.4(m) | 1.14*1.3*2.4(m) | 1.14*1.5*2.4(m) | |
整機重量 | 700kg | 770kg | 840kg | 910kg | 900kg | 1040kg | 1180kg | |
承重 | 200kg | 200kg | 200kg | 200kg | 500kg | 500kg | 500kg | |
包裝外型 | 1.45*1.37*2.1(m) | 1.45*1.47*2.1(m) | 1.45*1.57*2.1(m) | 1.45*1.67*2.1(m) | 1.45*1.55*2.4(m) | 1.35*1.75*2.4(m) | 1.35*1.95*2.4(m) | |
