詳細(xì)介紹:
ECLIPSE L200A
升降部、孔徑光闌,明暗視場(chǎng)轉(zhuǎn)換,調(diào)光等均實(shí)現(xiàn)電動(dòng)化。具有豐富的擴(kuò)展性,比如與晶圓裝載機(jī)組成目視觀察系統(tǒng)等。
可測(cè)量樣本尺寸:µ200mm
觀察倍率:15X-3000X(根據(jù)目鏡與物鏡的組合)
規(guī)格:
基座 | 12V100W調(diào)光用電源,帶遙控器 調(diào)焦部分:行程29mm,配備AIF(Auto Link Focusing system) 控制部分:物鏡轉(zhuǎn)換器旋轉(zhuǎn),燈光調(diào)節(jié),孔徑光闌調(diào)節(jié),升降部,光路轉(zhuǎn)換 物鏡轉(zhuǎn)換器:6孔電動(dòng)通用物鏡轉(zhuǎn)換器 可按裝自動(dòng)對(duì)焦裝置(選配件) |
反射照明部 | 12V100W鹵素照明裝置,電動(dòng)孔徑光闌(可對(duì)中),視場(chǎng)光闌(固定、帶Focusing Target),電動(dòng)光路轉(zhuǎn)換(BF/DF),可插入針孔插片(選配件),可插入φ25濾光片(NCB11,ND16,ND4),可安裝電動(dòng)DIC裝置(選配件) |
鏡筒 | L2-TT2超寬視場(chǎng)正立傾角三目鏡筒 L2-TT超寬視場(chǎng)正立傾角三目鏡筒,L-TI2正立三目鏡筒 |
載物臺(tái) | 8x8載物臺(tái),行程205x205mm,帶粗微調(diào)轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu),微調(diào)手輪位置固定電動(dòng)掃描載物臺(tái)ISS220(與晶圓裝載機(jī)NWL860系列組合時(shí)) |
目鏡 | CFI目鏡系列 |
物鏡 | CFI60系統(tǒng)物鏡系列 |