用(光)高精度檢測距離或時(shí)間等時(shí),常用法布里-珀涉儀(Fabry-Perot interferometer)。
這個系列的超級反射鏡為提高法布里-珀涉儀的性能而開發(fā),超級反射鏡的反射率非常接近99%了。
采用了離子束濺射(IBS)鍍膜方式,獲得了細(xì)密而無缺陷的高質(zhì)量光學(xué)膜。
反射鏡基板采用特殊的高精密拋光技術(shù)制造,其表面粗糙度小于Ra0.1nm的低散亂基板。
發(fā)揮多年積累的光學(xué)薄膜設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn),實(shí)現(xiàn)了高達(dá)99.999%的高反射率。
基板和光學(xué)膜的散亂損失非常小,用其構(gòu)建法布里-珀羅腔的話,可得到非常窄的光譜帶寬和高銳度。有使用波長為532nm和1064nm的兩個系列。