
◆ 實(shí)現(xiàn)高精度非接觸式高度測定;
◆ 搭配高精度工作臺,有助于XY測定的精確性。
型號 | MKM-01 | MKM-02 | MKM-03 |
目鏡 | WF10X、20X | ||
物鏡 | 2.5X、5X、10X、20X、50X、100X | ||
主機(jī)部分 | 上下移動范圍 155mm 被檢物高度 155mm Z 軸測定范圍 45mm | ||
照明 | LED照明(透過·反射) | ||
計(jì)算器 | QC130、QC200、QC300任一(最小分辨率0.5μm) | ||
工作臺 | MKS-100 | MKS-150 MKS-200 | MKS-300 |
測量精度X,Y共軸3+2L/100μm(L:測定長mm) | |||
重量 | 56kg~300kg(因組合內(nèi)容不同而變化) |