MET ONE 3411 便攜式空氣顆粒計數(shù)器適用于半導體潔凈室監(jiān)測、過程標記和顆粒故障排除等方面的應用。MET ONE 3411 具有業(yè)界的 ISO 21501 數(shù)據(jù)準確性和再現(xiàn)性，是業(yè)內最潔凈的 0.1um 便攜式空氣顆粒計數(shù)器。
基本描述
便攜式空氣顆粒計數(shù)器|選擇 MET ONE 3411 的優(yōu)勢所在
- 可讓您的潔凈室保持潔凈
0.1um級別的顆粒計數(shù)器能讓排氣扇點塵不染 - 熱插拔電池-確保儀器長時間連續(xù)運行
由于儀器使用的是熱插拔電池，故無論儀器是充電還是斷電、計數(shù)歸零及采用備份電源時都無需停機 - 測試向導（Test Wizard）能使您在組織潔凈室時讓合規(guī)性更容易得到保證
可在監(jiān)控您的半導體生產環(huán)境時節(jié)省時間并消除錯誤 - 順序采樣系統(tǒng)
可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統(tǒng)部署低成本的現(xiàn)場監(jiān)控解決方案。用單臺 MET ONE 3411 型空氣顆粒計數(shù)器可依次從多達32個位置進行順序采樣。 - 靈活的通訊方式——設置簡單，數(shù)據(jù)傳輸方便
供選擇的無線，以太網(wǎng)和串口通訊可以將數(shù)據(jù)傳輸?shù)組ETONE數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，或者客戶已有監(jiān)控軟件，以便減少文書工作 - 直觀的用戶界面
簡便的區(qū)域，位置和運行參數(shù)的配置和復制，節(jié)約運行時間。只需將完整的配置拷貝到一個 U 盤中，從而消除參數(shù)設置錯誤，并節(jié)省時間。還可以在整個顆粒計數(shù)組部署采樣計劃！ - 符合ISO 21501-4 標準的可靠性和準確性
專用于滿足特殊顆粒計數(shù)要求，儀器與儀器之間的準確度和再現(xiàn)性*符合 ISO21501-4標準要求。
產品參數(shù)
| 通道個數(shù) | 6 |
| 粒徑 | 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ |
| 光源 | 氦氖激光器 |
| 重量 | 不含電池：15.9 公斤，電池：0.66 公斤 |
| 尺寸 | 33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (寬 x 長 x 高) |
| 機箱材質 | 便于清洗的鈍化不銹鋼 |
| 流速 | 1.0 CFM (28.3 LPM) |
| 零計數(shù) | ISO 21501-4 和 JIS B 9921 標準:5分鐘內1顆或少于一顆, 95% 置信區(qū)間 |
| 符合損失 | 在 50,000 /ft3 時，為5%，符合ISO 21501-4標準 |
| 泵的類型 | 可供連續(xù)使用的的多瓣閉路循環(huán)控制泵 |
| 計數(shù)效率 | 在0.1 µm時為 50%。根據(jù)ISO 21501-4和JIS B 9921，粒徑大于0.15µm時為 99% |
| 運行溫度 | 10 至 40°C; 相對濕度為10 至 90%，無冷凝 |
| 顯示 | ? VGA 彩色 TFT 觸摸屏 |
| 打印機 | 高速熱敏打印機 |
| 語言 | 英語，法語，德語，意大利語，西班牙語，韓語*，日語*，中文 |
| 可以顯示的數(shù)值 | 9,999,999 displayed |
| 延遲時間 | 15秒鐘至23小時59分59秒 |
| 采樣/停留時間 | 1秒鐘至23小時59分59秒 |
| 計數(shù)警報 | 1~ 9,999,999 個計數(shù)值 |
| 位置 | 編號：0 至 999; 名稱:文字描述，顯示在打印輸出資料上 |
| 數(shù)據(jù)存儲 | 5,000 個樣品， 在歷史數(shù)據(jù)查看頁面上可以滾動(FIFO 或 Overflow) |
| 輸出 | USB 客戶端 (版本為 1.1)USB 主機端 (版本為 1.1)RS485 配有TCP/IP 通訊協(xié)議的以太網(wǎng)配有802.11g通訊協(xié)議的無線輸出 (可選)MET ONE 2432 型順序采樣系統(tǒng) (警報和掃描探頭) |
| 鋰電池，可充電、可熱插拔 | Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX |
| 輸入 | 空氣速度探頭，相對濕度/溫度探頭 |
| 自動 CDA 清洗 | 連接到CDA之后，清洗電磁閥會被激活 |
| 電源 | 24VDC，配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 適配器 |
| 電池類型 | 智能鋰電池，可充電，可熱插拔 |
| 電池使用時間 | 最短 3 小時 |
| 電池的充電時間 | 電池的充電時間 |
| 包含電池數(shù)量 | 2組 |
應用領域
專應用于半導體行業(yè)的空氣顆粒計數(shù)：
- 潔凈室驗證監(jiān)測
- 潔凈室的分級
- ISO14644潔凈室驗證
- 潔凈室顆粒物監(jiān)測
- 生產過程的連續(xù)監(jiān)測
- 顆粒污染源的排除過程
- HEPA過濾器檢漏，粒徑大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
- 過濾器掃描
- 高壓氣體監(jiān)測可簡單地通過氣體選擇菜單選擇相應氣體，流量會自動調整
空氣顆粒計數(shù)器生命科學標準及委員會：
- 國際標準化組織 (ISO)
- ISO14644潔凈室及相關受控環(huán)境
- ISO 21501顆粒分布測確定--用于無塵空間的光散射顆粒計數(shù)器
- 環(huán)境科學與技術研究所 (IEST)
