顯微激光測振儀MLV-100
MLV-100顯微激光測振儀通過顯微光學(xué)系統(tǒng)可實現(xiàn)對微小物體的振動測量,使激光光斑達(dá)到微米量級,提高測量的準(zhǔn)確性,并可通過顯微成像系統(tǒng)實時觀察物體的振動狀態(tài)。
隨著MEMS的日益發(fā)展,顯微式激光測振儀可以測量MEMS元器件的振動和形貌,是專門對微結(jié)構(gòu)的振動測量以及可視化測量分析的理想工具。
點直徑* | 大約10um | ||
頻率響應(yīng)范圍* | DC to 25KHz, DC to 100KHz, DC to 1MHz/2.5MHz | ||
測量速度范圍 | 法向* | 50mm/s,500mm/s,1m/s5m/s10m/s | |
切向* | 150mm/s, 1500mm/s, 15m/s,30m/s | ||
濾波設(shè)置 | 高通、低通濾波設(shè)置 | ||
顯微鏡 | |||
目鏡 | 放大倍率 | W.D | 光束直徑 |
5X | 34mm | 30um | |
10X | 34mm | 20um | |
20X/50X | 20mm/13mm | 10um/2um | |
X-Y平臺 | |||
尺寸 | 100X100mm | ||
移動范圍 | +/-10mm | ||
分辨率 | 0.001mm |
*可根據(jù)客戶要求,并可為客戶定制