桌上型微波等離子清洗機HC-PL12,采用優(yōu)化的集成PLC工藝控制系統(tǒng),特別適合研發(fā)和小批量生產等領域的需求。
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外形尺寸 | W880×H580×D720mm |
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腔體內部尺寸 | W230×H230×D245mm |
微波功率 | 2.45GHz,100-500W可調 |
工藝氣路 | 標準1路,包括質量流量計和控制電磁閥等 |
真空接口 | DN16KF |
電源 | 380V,50/60Hz 3.3KW不含真空泵 |
控制單元 | 觸摸屏PLC控制 |
真空規(guī) | Pirani真空計 |
主要應用 | 半導體材料表面有機污染物去除和表面活性增強 |
產品特點
USB接口
以太網接口
遠程維護(VPN)
微波源上裝/側裝
易于操作的圖形化界面