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PCE-6V 小型等離子清洗機(jī)

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等離子清洗機(jī)

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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述：小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù)，采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來的二次污染。工作時(shí)外接一臺(tái)真空泵，清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，可短時(shí)間內(nèi)清洗掉有機(jī)污染物，清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。另外，其樣品臺(tái)可選配加熱功能，可加負(fù)偏壓，用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。此外，其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。

詳細(xì)介紹

功能特點(diǎn)

采用氣體作為清洗介質(zhì)，避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來的二次污染。。
可短時(shí)間內(nèi)清洗掉有機(jī)污染物。
清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。
可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。
清洗過程中的輝光放電可對(duì)某些特殊用途的材料加強(qiáng)粘附性、相容性和浸潤(rùn)性，并可消毒和殺菌。
樣品臺(tái)可選配加熱功能，可加負(fù)偏壓，用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。
廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)
電壓	AC220V 10A
消耗功率	<500W（包括真空泵）
RF電源	輸出功率100W，輸出頻率13.56MHz
腔體	Φ190mm×98mm
細(xì)節(jié)圖
石英管	Φ180mm×55mm，壁厚7mm
內(nèi)腔	Φ165mm×55mm
清洗電極	Φ120mm
樣品臺(tái)	Φ150mm，有效尺寸Φ140mm
樣品臺(tái)與電極間距	15mm-50mm可調(diào)
抽氣管	Φ12mm
極限真空度	0.1Pa
工作真空度	60Pa-500Pa
氣路數(shù)量	2路（選裝）
流量控制器數(shù)量	1、2
流量顯示儀	2通道
氣路接口	Φ6mm
加熱樣品臺(tái)	Φ140mm，加熱樣品溫度RT-600℃±1℃（選裝）
冷卻水壓力	0.2KPa-0.4KPa
工作環(huán)境	溫度5℃-35℃，濕度<80%（相對(duì)濕度）不結(jié)露，海拔高度0-2000m
尺寸	245mm×235mm×460mm（不含真空泵）
重量	20kg（不含真空泵）
可選配置	● 加熱樣品臺(tái) ● 流量控制器（量程10、50、100，多可增加2個(gè)通道）