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PT-650-MF等離子清洗機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

MFPLASMA系列產(chǎn)品概況廠家：天科創(chuàng)達(dá)產(chǎn)地：中國(guó)專為工廠生產(chǎn)設(shè)計(jì)

詳細(xì)介紹

MF PLASMA系列

產(chǎn)品概況

廠家：天科創(chuàng)達(dá)

產(chǎn)地：中國(guó)

專為工廠生產(chǎn)設(shè)計(jì)，適用材料清潔與活化

可用于處理各種高分子材料，金屬，玻璃等表面

腔體內(nèi)氣浴設(shè)計(jì)，工藝氣體分布更加均勻

規(guī)格參數(shù)

設(shè)備型號(hào)	PT-100-MF	PT-350-MF	PT-650-MF
真空腔體	W400mm;D400mm;H600 mm	W700mm;D800mm;H600 mm	W800mm;D1000mm;H800mm
射頻電源	500W；13.56MHz	5KW；40KHz	5/10KW；40KHz
射頻電源		1KW；13.56MHz
真空計(jì)	1×10-2～1×105	1×10-2～1×105	1×10-2～1×105
流量計(jì)	2通道MFC （0-200sccm）	2-4通道MFC （0-200sccm）	2-4通道MFC （0-200sccm）
工藝氣體	氧氣，氬氣，氫氣，氮?dú)獾?/span>
控制方式	手動(dòng)/自動(dòng)	手動(dòng)/自動(dòng)	手動(dòng)/自動(dòng)
人機(jī)界面	10寸觸摸屏	10寸觸摸屏	15寸觸摸屏
主機(jī)尺寸	800（W）×800（D）×1800（H）	1500（W）×1300（D）×1800（H）	1600（W）×1600（D）×1800（H）
冷水機(jī)		跟隨設(shè)備配套	跟隨設(shè)備配套
真空泵	可選干泵或油泵(真空泵組)
安裝條件	AC380V；50/60Hz；3Phase 5Wire
其他說(shuō)明	有單獨(dú)通風(fēng)泄壓通道，設(shè)備相關(guān)配置可按要求定制