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生產(chǎn)型等離子清洗機(jī) TETRA 30

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生產(chǎn)型等離子清洗機(jī) TETRA 30 產(chǎn)品說(shuō)明: 34L——57L生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)TETRA30可以組合成不同的模塊系統(tǒng),能滿(mǎn)足生產(chǎn)企業(yè)需求,也能夠按照客戶(hù)要求進(jìn)行定制。 應(yīng)用領(lǐng)域: 主要應(yīng)用領(lǐng)域有:分析 (REM TEM)、考古、汽車(chē)、生物技術(shù)、 彈性體技術(shù)、電子技術(shù)、電子顯微鏡、精密工程、研究和開(kāi)發(fā)、半導(dǎo)體技術(shù) 、小批量生產(chǎn)、塑料技術(shù)、醫(yī)療技術(shù)、 微系統(tǒng)技術(shù) 、太陽(yáng)能電池技術(shù)、紡織技術(shù) 在線(xiàn)咨詢(xún)

詳細(xì)介紹

    設(shè)備:生產(chǎn)型等離子清洗機(jī) TETRA 30
    銷(xiāo)售:
    產(chǎn)品功能:

    清洗:工藝部件的表面通過(guò)離子束的物理轟擊而被清洗,也可與特定氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而被清洗,清洗掉的工藝污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出。 如:去除有機(jī)污染物,去除納米級(jí)微粒,去除氧化層

    活化:工藝部件表面通過(guò)氧氣或空氣處理后,會(huì)在表面形成氧原子團(tuán),這樣能使部件表面親水性和表面張力提高,能使涂料和粘接劑更好的附著于上,提高其的粘合力和附著力。如:PDMS鍵合,粘接前的預(yù)處理,涂裝前的預(yù)處理,印刷前的預(yù)處理。


    蝕刻:工藝部件表面通過(guò)特定氣體達(dá)到精確濺射,表面材料被剝離,轉(zhuǎn)變成氣相被排出,濺射后的材料表面積增大并更易濕潤(rùn),也使材料表面更粗糙化。通過(guò)改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀。如:硅蝕刻,PTFE/PFA/FEP蝕刻,光刻膠去除。


    涂層:使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應(yīng),前驅(qū)單體導(dǎo)入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面,隨即發(fā)生聚合反應(yīng),形成聚合物層。疏水層,親水層,保護(hù)/阻隔層,干潤(rùn)滑層,疏油層

     

     


    主要技術(shù)參數(shù)1. 便捷的PC觸摸屏控制,操作系統(tǒng)為Windows CE5.0(ARM)
    2. *根據(jù)工藝要求不同,可設(shè)定功率、壓強(qiáng)、氣體流量與時(shí)間等參數(shù)       
    3. 雙路工作氣體,氣體流量通過(guò)數(shù)字式流量計(jì)(MFC)控制
    4. *反應(yīng)艙為不銹鋼,寬305mm ×深625 mm×高300 mm ,容積約為50L
    5. 高周波電流頻率13.56MHz功率0~300W
    6. 反射波自動(dòng)調(diào)節(jié),無(wú)須手工調(diào)節(jié)
    7. 電極材質(zhì)為鋁/不銹鋼
    8. 運(yùn)行模式為手動(dòng)/自動(dòng)
    9. *可存儲(chǔ)多套工藝程序,圖表實(shí)時(shí)顯示工藝過(guò)程
    10. 真空泵的排氣能力為16m3/Hour,配有強(qiáng)制進(jìn)氣閥
    11. *配有壓力傳感器,可根據(jù)工藝要求設(shè)定壓力值
    12. 電源電壓:400V /16A

    選配:
    控制系統(tǒng): 全自動(dòng)PCCE控制/全自動(dòng)PC控制。

     
    氣體:
    多路氣體
     
    腔體:
    矩形不銹鋼,帶鉸鏈的門(mén)(約寬 305 mm,高 300 mm x 深 370 mm 或 625 mm)矩形鋁,帶鉸鏈的門(mén)(約寬 305 mm,高 300 mm x 深 370 mm 或 625 mm)
     
    托盤(pán):
    石英玻璃舟皿/粉末轉(zhuǎn)鼓/散裝件轉(zhuǎn)鼓/鋁板/不銹鋼板/硼硅玻璃/石英/水冷型
     
    電極:
    單層或多層/帶氣體噴淋裝置的 RIE 電極
     
    壓力測(cè)量:
    Pirani/電容式壓力計(jì)(適用于腐蝕性氣體版本)
     
    發(fā)生器:
    80 kHz:0- 1000 W/3000 W 13.56 MHz: 0 - 300 W/600 W 2.45 GHz: 0 - 600 W/1200 W
     
    其他:
    ......

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