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全自動SIC復(fù)合覆膜立式爐

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更新時(shí)間：2024-12-16 10:22:01瀏覽次數(shù)：36次

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合肥真萍電子科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品用途：本產(chǎn)品主要面向SIC功率器件制造領(lǐng)域，在氮?dú)夥諊袑IC/PI復(fù)合薄膜進(jìn)行600-1050℃的碳化處理，在碳化過程中，SIC納米粒子與PI作用形成化學(xué)鍵合，使其耐熱性得到提高。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.一體式人機(jī)操作系統(tǒng)，連續(xù)式自動化生產(chǎn)，工作效率高，節(jié)約人工成本、電能及工藝時(shí)間；

2.FEC加熱，升溫迅速且均勻度好；

3.優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，表面經(jīng)物理及化學(xué)拋光處理，確保潔凈度；

4.自帶自清潔功能——高溫清潔。

技術(shù)參數(shù)：

型號		TASS15100D112-N0			TASS20100D112-N0
處理產(chǎn)品		6/8inch 晶圓	處理量			100PCS/管
加熱器		圓形FEC加熱板
上料口		2個(gè)	機(jī)械手			1
溫度范圍		長期使用溫度: 950℃，溫度：1200℃
升溫速率		＜8℃/min		降溫速率		＜7℃/min
加熱功率		30kW(單爐)		加熱溫區(qū)		3個(gè)
爐溫均勻性		±2℃（950℃恒溫）		控溫?zé)崤?nbsp;		K分度
溫度控制方式		SSR		程序控制		P.I.D控制
爐膛材料		石英		保溫材料		陶瓷纖維
氣氛控制	多路流量計(jì)調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量計(jì)量程： 1）0-150L/min 氮?dú)?/span> 2）0-40L/min 氧氣					氣氛	N2/O2
排氣系統(tǒng)	在頂部設(shè)置排氣煙囪，用于廢氣排放,回收