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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)/HMDS涂膠機(jī)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地合肥市

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更新時間:2024-12-16 10:30:52瀏覽次數(shù):41次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:28條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:張經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn):1、預(yù)處理性能更好,由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進(jìn)行,晶片在容器里先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤,再接著進(jìn)行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機(jī)會降低,所以有著更好的處理效果等;2、處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性;3、效率高。液態(tài)涂布是單片操作,而本系統(tǒng)一次可以處理多達(dá)4盒的晶片;4、更加節(jié)省藥液。實(shí)踐證明,用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理4盒晶片所用藥液還多;5、更加環(huán)保和安全,HMDS是有毒化學(xué)藥品,人吸入后會出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整個過程是在密閉的環(huán)境下完成的,所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機(jī)械泵抽到尾氣處理機(jī),所以也不會對環(huán)境造成污染。

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù):

型號

MD-40

MD-15

內(nèi)膽尺寸

450*450*450mm

250*250*250mm(W*D*H)

真空度

150Pa;采用真空泵;

加熱方式

腔體外側(cè)四周加熱;

溫度

RT+10℃~ 200℃;微電腦溫度控制器,控溫精確可靠;

控溫精度

±2%℃(200℃內(nèi));

備注

開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時間(正常工藝在50分鐘-90分鐘。


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