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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司


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2路質(zhì)量流量計(jì)500w等離子清洗機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

2路質(zhì)量流量計(jì)500w等離子清洗機(jī),在真空腔體里,通過(guò)射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無(wú)序的等離子體,通過(guò)等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面.以達(dá)到清洗目的

詳細(xì)介紹

2路質(zhì)量流量計(jì)500w等離子清洗機(jī)

等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在,如地球大氣電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì):處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基);離子化的原子、分子;未反應(yīng)的分子、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。等離子清洗/刻蝕機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng),用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來(lái)愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(zhǎng),受電場(chǎng)作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性

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2路質(zhì)量流量計(jì)500w等離子清洗機(jī)KT-Z5KQX


供電電源

AC220V(AC110V可選)

工作電流

整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

射頻電源功率

500W可調(diào)

射頻頻率

40kHz

耦合方式

電容耦合

真空度

≤30Pa

腔體容積

5L(內(nèi)徑 152mmX 深度 280mm)

載物規(guī)格

125mmX260mm

氣體流量

0—50ml/min(其他量程可選)

氣體路數(shù)

2 路質(zhì)量流量計(jì)+精密流量控制閥

過(guò)程控制

自動(dòng)控制

清洗時(shí)間

手動(dòng)開(kāi)關(guān)

開(kāi)蓋方式

鉸鏈側(cè)開(kāi)式法蘭

真空室溫度

小于65°C

外形尺寸

450x450x250mm

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷

標(biāo)配

KF16真空管1米,kf16卡箍2個(gè),不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè),電源線一根,說(shuō)明書(shū)一本,機(jī)械泵一臺(tái)

















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