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高速掃描電子顯微鏡HEM6000

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  油氣勘探系列

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國(guó)儀量子（合肥）技術(shù)有限公司

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高速掃描電子顯微鏡HEM6000是一款可實(shí)現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡，采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺(tái)減速、動(dòng)態(tài)光軸、浸沒式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了超快的數(shù)據(jù)采集和成像速度，同時(shí)保證了納米級(jí)分辨率；面向應(yīng)用場(chǎng)景的自動(dòng)化操作流程設(shè)計(jì)，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達(dá)常規(guī)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。

詳細(xì)介紹

	電子過濾系統(tǒng) SE/BSE信號(hào)自由切換，MIX成像信號(hào)比例可調(diào)
	高速掃描驅(qū)動(dòng)器駐點(diǎn)時(shí)間10 ns/pixel，采集速度2*100 M pixel/s
	浸沒式電磁復(fù)合物鏡物鏡磁場(chǎng)浸沒樣品，實(shí)現(xiàn)了低像差高分辨率
	全靜電高速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng) 可實(shí)現(xiàn)高分辨大場(chǎng)模式，4 nm像素點(diǎn)視場(chǎng)達(dá)32*32 um2
	樣品臺(tái)減速技術(shù) 降低入射電子落點(diǎn)電壓，同時(shí)提高回收電子的收集效率