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聚焦離子束FIB

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上海儀準(zhǔn)電子科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

電子光學(xué)NICol非浸沒式超高分辨率場發(fā)射掃描鏡筒，配有：? 高亮度肖特基場發(fā)射電子搶，用于提供穩(wěn)定的高分辨率分析電流? 60度雙物鏡透鏡，支持傾斜的樣品? 全自動加熱式光闌，可確保清潔和無接觸式更換光闌孔? 連續(xù)電子束電流控制和優(yōu)化的光闌角度? 電子槍安裝和維護(hù)簡單－自動烘烤，自動啟動，無需機(jī)械合軸? 雙物鏡透鏡，結(jié)合電磁透鏡和靜電透鏡? 兩級掃描偏轉(zhuǎn)? 雙物鏡透鏡，結(jié)合電磁透鏡和靜電透鏡? 電子源壽命至少24個月電子束分辨率在好的工作距離下? 30keV下STEM0.7nm? 1keV下1.4nm15keV下1nm? 1keV下電子束減速模式1.2nm

詳細(xì)介紹

聚焦離子束FIB

超高分辨成像并獲取全面的樣品信息:

創(chuàng)新的NICol電子鏡筒為Scios 2 DualBeam 系統(tǒng)的高分辨率成像和檢測功能奠定了基礎(chǔ)。無論是在S丁EM模式下以30 keV來獲取結(jié)構(gòu)信息，還是在較低的能量下從樣品表面獲取無荷電信息，系統(tǒng)可在廣泛的工作條件下提供出色的納米級細(xì)節(jié)。系統(tǒng)的鏡頭內(nèi)Thermo Scientific Trinity™檢測技術(shù)可同時采集角度和能量選擇性SE和BSE圖像。無論是將樣品豎直或傾斜放置進(jìn)行觀察，亦或者是觀察樣品截面，都可快速獲取詳細(xì)的納米級信息。可選配的透鏡下探測器和電子束減速模式可確?？焖?、輕松地同時采集所高信號，以顯示材料表面或截面中的較小特征。依托的NICol鏡筒設(shè)計和全自動合軸功能，用戶可獲得快速、準(zhǔn)確且可重復(fù)的結(jié)果。

幫助所有用戶提高生產(chǎn)力:

Scios 2 DualBeam系統(tǒng)可幫助所有經(jīng)驗水平用戶更快、更輕松地獲得高質(zhì)量、可重復(fù)的結(jié)果。系統(tǒng)提供用戶向?qū)?，使新手用戶可以輕松、快速地提高工作效率。此外，諸如 "撤消" 和 "重做" 之類的功能鼓勵用戶開展更多類型的實驗。

真實環(huán)境條件的樣品原位實驗

Scios 2 DualBeam系統(tǒng)專為材料科學(xué)中具有挑戰(zhàn)性的材料微觀表征需求而設(shè)計，配備了全集成化、極快速M(fèi)EMS熱臺µHeater可在更接近真實環(huán)境的工作條件下進(jìn)行樣品表征。110毫米樣品臺可傾斜至90°，優(yōu)中心工作距離更大，確保了系統(tǒng)好的靈活性。系統(tǒng)可選配低真空模式，可輕松兼容各種樣昂類型和數(shù)據(jù)采集。同時，系統(tǒng)結(jié)合了擴(kuò)展的沉積和蝕刻功能、優(yōu)化的樣品靈活性和控制能力，成為通用的高性能FIB /SEM系統(tǒng)，所有這些都由賽默飛的專業(yè)應(yīng)用和服務(wù)支持。

W-Mo-Cu樣品的三維重建，結(jié)合了 BSE （綠色-藍(lán)色）和EDS （桶色）三維數(shù)據(jù)，使用Scios 2 DualBeam系統(tǒng)、 AS&V4以及Avizo軟件生成。

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