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上海儀準(zhǔn)電子科技有限公司

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雙面探針臺DPW-1200

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產(chǎn)品簡介

雙面探針臺DPW-1200

詳細(xì)介紹

雙面探針臺DPW-1200

Chuck Stage:

● X-Y travel coarse300 mm x 300 mm

● X-Y travel fine10 mm x 10 mm （resolution < 1 µm）

● Z up/down 10 mm

● Theta travel ± 7o

● Planarity < ± 5µm

Probe Platen Drive:

● Z travel 25mm

● resolution < ± 1 µm

Manual Microscope（1000X OR100x option）:

● Travel rangeX-Y-Z 50 mm x 50 mm x 50 mm

● Resolution <1um

Utilities:

● Power 220V, 50Hz

● Vacuum -0.8 bar

● Compressed air 4 bar

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