JX系列大工作平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡,采用研究級顯微鏡R照明系統(tǒng)和光學(xué)系統(tǒng),人機(jī)工程學(xué)設(shè)計全面提升,照明均勻,成像清晰,為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗(yàn)。突破性的大金相機(jī)架設(shè)計,支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查,含 8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤,可適用不同尺寸的晶圓檢查。
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) | |
觀察方式 | 明場 | |
觀察筒 | 30°傾斜 | |
正像,無限遠(yuǎn)鉸鏈?zhǔn)饺ㄓ^察筒,瞳距調(diào)節(jié):50-76mm, | ||
目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/25mm,視度可調(diào) | |
物鏡 | 無限遠(yuǎn)平場物鏡 5X、10X、20X、50X、100X | |
轉(zhuǎn)換器 | 內(nèi)傾五孔轉(zhuǎn)換器 | |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 粗微動同軸調(diào)焦,行程 29mm 微動 0.002mm/ 格,0.2mm/ 圈; | |
載物臺 | 8英寸三層機(jī)械移動平臺: 移動范圍:200mm×200mm 帶離合手抦可實(shí)現(xiàn)快速移動 | 17×12英寸機(jī)械移動平臺: 移動范圍:430mm×305mm; 帶離合手抦可實(shí)現(xiàn)快速移動 |
低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié);帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動;玻璃載物臺板,(反射用) | ||
晶圓輔助臺 | 選配 | |
反射照明系統(tǒng) | 明場反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心均可調(diào);檢偏和起偏裝置 | |
攝影攝像 | 1X攝像接筒,C型接口 |