JX系列大工作平臺(tái)半導(dǎo)體檢查顯微鏡,采用研究級(jí)顯微鏡R照明系統(tǒng)和光學(xué)系統(tǒng),人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)全面提升,照明均勻,成像清晰,為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗(yàn)。突破性的大金相機(jī)架設(shè)計(jì),支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查,含 8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤,可適用不同尺寸的晶圓檢查。
光學(xué)系統(tǒng) | 無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) | |
觀察方式 | 明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC | |
觀察筒 | 30°傾斜 | 0°- 35°傾斜 |
正像,無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈?zhǔn)饺ㄓ^察筒,瞳距調(diào)節(jié):50-76mm, 分光比:100:0或0:100 | ||
目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/25mm,視度可調(diào) | |
物鏡 | 明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡5X、10X、20X、50X | |
轉(zhuǎn)換器 | 明暗場(chǎng)五孔轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽 | |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 反射式機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm;帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置,內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)。 | |
載物臺(tái) | 8英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái): 平臺(tái)面積525mm×330mm 移動(dòng)范圍:210mm×210mm | 12×14英寸機(jī)械移動(dòng)平臺(tái): 平臺(tái)面積420mm×718mm, 移動(dòng)范圍:305mm×356mm; |
低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié);帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng);玻璃載物臺(tái)板,(反射用) | ||
晶圓輔助臺(tái) | 選配 | |
反射照明系統(tǒng) | 明暗場(chǎng)反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場(chǎng)光闌,中心均可調(diào);帶明暗場(chǎng)照明切換裝置; 帶濾色片插槽與偏光裝置插槽
| |
攝影攝像 | 0.5X/0.65X/1X攝像接筒,C型接口,可調(diào)焦 | |
其他 | 起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板;DIC微分干涉組件; 反射用干涉濾色片組;高精度測(cè)微尺 |