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等離子清洗機(jī)

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更新時間：2024-04-07 21:36:21瀏覽次數(shù)：98次

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產(chǎn)品簡介

用于對半導(dǎo)體封裝過程中 W/B 前、Molding 前的 L/F、Substrate、BGA 產(chǎn)品清洗，電漿清洗制程中具有可重復(fù)性高、可控性強(qiáng)、稼動率高，無污染產(chǎn)生，以及運(yùn)營成本低的特性；增強(qiáng)基板表面浸潤能力，使銀漿與基板間貼合更緊密和更牢固；改善基板表面浸潤能力，以及使基板及焊盤表面粗化。

詳細(xì)介紹

等離子清洗機(jī)的等離子體是一種有效的清潔方式，無需使用危險溶劑。在半導(dǎo)體加工中，等離子體清洗通常被用來在焊線前準(zhǔn)備晶圓表面。去除污染（助焊劑）可以加強(qiáng)粘接的粘性，這有助于延長設(shè)備的可靠性和壽命。在生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用中，等離子體清洗對于實(shí)現(xiàn)合成生物材料和天然組織之間的兼容性很有用。表面改性可以限度地減少不良反應(yīng)，如炎癥、感染和血栓形成。

典型應(yīng)用：
● 電線連接表面處理
● 去除污染物（焊劑）或?qū)Ρ砻孢M(jìn)行消毒
● 促進(jìn)兩個表面之間的粘連
● 控制表面張力以達(dá)到疏水或親水的表面
● 提高生物相容性
● 通過交聯(lián)提高聚合物的性能，減少磨損設(shè)備的摩擦力

等離子清洗機(jī)適用于半導(dǎo)體封裝過程中 W/B 前、Molding 前的 L/F、Substrate、BGA 產(chǎn)品清洗；增強(qiáng)基板表面浸潤能力，使銀漿與基板間貼合更緊密和更牢固；改善基板表面浸潤能力，以及使基板及焊盤表面粗化。

技術(shù)特點(diǎn)：
1、采用全自動程控接口，觸摸屏人機(jī)界面，操作簡單；
2、采用的腔體設(shè)計(jì)，清洗均勻性好，清洗質(zhì)量高效；
3、具有500W，13.56MHZ 射頻功率輸出，并且可以通過網(wǎng)絡(luò)匹配控制器快速進(jìn)行阻抗匹配，使反射功率降至。
4、采用腔體內(nèi)上下兩層設(shè)計(jì)，每層 8 料盒，共計(jì) 16料盒(建議客戶清洗 8料盒）產(chǎn)品，結(jié)合化學(xué)反應(yīng)及物理撞擊，清洗周期短，電漿效率高，清潔效率高
5、架構(gòu)簡單、占地面積小、生產(chǎn)率高等優(yōu)點(diǎn)，并且保養(yǎng)維護(hù)簡單且快速，系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定；
6、D/A 和 W/B 前深度清洗，使得基板和焊盤表面粗化疏水性增強(qiáng)，將銀漿與基板間貼合更緊密和更牢固

產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品型號	YH-DZ-PT3000
使用電壓	三相五線制380V 50Hz
整機(jī)功率	小于5kW
運(yùn)行環(huán)境	溫度15~25℃，濕度40%~60%RH
制程參數(shù)存儲	12組
機(jī)臺總重量	850KG
壓縮空氣壓力	0.6MPa，10L/Min
壓縮空氣流量	≤10LPM
壓縮空氣管徑	外徑6mm，內(nèi)徑4mm
排氣接頭	NW40
尺寸
機(jī)器尺寸（LWH）	1093mm1030mm2020mm
內(nèi)腔尺寸（LWH）	610450467mm
適用清洗產(chǎn)品
封裝基板類型	L/F,substrate
產(chǎn)品寬度	≤ 100mm 可定制
產(chǎn)品長度	≤ 300mm 可定制
產(chǎn)品厚度	≤ 1mm 可定制
單次清洗數(shù)量	16*25pcS（最多）
處理能力
水滴角	20 ≤ avg ≤ 45° @ 產(chǎn)品寬度
工作范圍
料盒要求	導(dǎo)電側(cè)面開通風(fēng)槽
料盒數(shù)量	16PCS（最多）
真空系統(tǒng)
真空泵輸出功率	2.5KW（真空泵） +0.75KW（羅茨泵）
泵速	250m3/H ，1Pa.50Hz
制程壓力范圍	80MMTORR 以下
真空閥氣壓檢測范圍	8*10 -3 -1Torr ；制程壓力 5-50mtorr
制程氣體管接頭類型	Swage Lock
制程氣體類型	Ar 、 95%Ar&5&H 2 ；腐蝕氣體除外
極規(guī)對數(shù)	雙層，每層 4 個
電源
射頻輸出功率	＜ 1000W
射頻頻率	射頻13.56MHZ，功率 0-500W 可設(shè)置，功率可設(shè)置
電源品牌	進(jìn)口/國產(chǎn)品牌可選
設(shè)備安裝參數(shù)	機(jī)臺尺寸：109310302020mm (含三色燈)
	制程參數(shù)存儲：12 組
	機(jī)臺總重：850kg
	運(yùn)行環(huán)境：15-25℃，40%-60%RH
	整機(jī)供電要求：AC 380V,三相五線良好接地
	壓縮空氣壓力：0.6Mpa，10L/Min
	壓縮空氣流量：≤10LPM
	壓縮空氣管徑：外徑 6mm，內(nèi)徑 4mm
	排氣接頭：NW40
	整機(jī)功率：小于5KW